2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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1、分類號：f誓午密級：單位代碼：10422學號：ⅥQfl珂Z⑧∥簍辦g碩士又論文題目：矗∥謝椎破，I魚反締完‰儼M刨叭帆文從僅，ac惦“掀Kb八々￡tk厶∥$f彬作者姓名望璺盍學院名稱物堡妻堅疊專業(yè)學位名稱叁盤壘齜指導教師近塑壘斟蜇籃合作導師卻l乙年葉月切目目錄摘要。薹ABSTRACTIIl主要符號表V第一章引言一111ⅡI。V族氮化物薄膜概述l12InN薄膜的研究進展2董3InN薄膜的性質313。l結構性質3132光學性質、電學性質51

2、4研究背景和主要內容一7第二章InN薄膜的制備方法及表征方法821InN薄膜的制備方法8211濺射鍍膜法8212脈沖激光沉積一9213分子束外延9214氫化物氣相外延1022InN薄膜性質的表征方法10221晶體結構分析1l222薄膜表面形貌分析12223薄膜光學、電學性質的測試分析14第三章MOCVD技術的概述及制備InN過程1931MOCVD技術原理。l932MOCVD系統(tǒng)2033MOCVD系統(tǒng)的特點2234薄膜的制備。23341實

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