電子束蒸發(fā)制備摻鋁氧化鋅透明導電膜.pdf

1、在常規(guī)能源日益枯竭的今天，開發(fā)利用可再生能源已經成為各國的研究熱點。太陽能做為一種潔凈的可再生能源具有潔凈、無污染等特點，因而極具應用價值。 太陽電池可以直接將光能轉化為電能，是目前利用太陽能的主要手段之一。其中晶硅薄膜太陽能電池作為第二代太陽電池的代表具有廣闊的應用前景。晶硅薄膜太陽電池中普遍采用透明導電膜作為電極材料。目前常用的透明導電膜有：ITO、SnO<,2>．F、ZnO：Al等。其中ZnO：Al(又稱AZO)具有無毒、

2、無污染、低成本等特點被視為晶硅薄膜電池理想的電極材料。 在本文中我們圍繞本實驗組多晶硅薄膜太陽電池的研究工作，利用電子束蒸發(fā)的方法在普通玻璃襯底上制備了AZO透明導電膜。分析了摻雜量、襯底溫度對電子束蒸發(fā)制備．AZO薄膜光電性能的影響。并分別利用磁控濺射、電子束蒸發(fā)制備了晶硅薄膜電池背表面的電極。利用掃描電子顯微鏡、X射線衍射、標準四探針、紫外可見光近紅外分光光度計、I-V特性測試儀等實驗手段分析了所制備電極材料的表面形貌、結晶