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文檔簡介
1、隨著光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,各種光電材料不斷被開發(fā),透明導電薄膜是其中之一。由于在可見光區(qū)域內(nèi)的高透過率和高導電性,透明導電薄膜被廣泛應用。目前,應用較為廣泛且制備技術(shù)比較成熟的是氧化銦摻錫( ITO)薄膜和氧化錫摻氟(FTO)薄膜,其中ITO應用最為廣泛。但是,ITO薄膜價格高、且高溫時銦易擴散而出現(xiàn)薄膜性能退化現(xiàn)象。相比而言,氧化鋅(ZnO)具有成本低、資源豐富、無毒、穩(wěn)定性強的優(yōu)點,因此受到廣泛的關(guān)注。
本文采用射頻磁控
2、濺射法,首次在室溫下以玻璃為襯底制備出釔摻雜的氧化鋅透明導電薄膜(YZO)。系統(tǒng)地研究了制備參數(shù)(濺射氣壓、濺射功率)和薄膜厚度對YZO薄膜的結(jié)構(gòu)和光電特性的影響;利用X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡( SEM)、霍爾測試儀以及紫外.可見光分光光度計對YZO薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌、光學和電學性質(zhì)進行了測量。
1、厚度對薄膜性質(zhì)的影響
當濺射氣壓為2.0 Pa,功率為100 W時,分別制備了厚度為200 n
3、m,400 nm,500 nm,600 nm,800 nm的五個樣品,它們的生長速率約為52 nm/min,基本不隨時間變化。隨著薄膜厚度的增加,YZO薄膜的結(jié)晶變好,ZnO(002)峰強度增強,薄膜晶粒尺寸從30.4 nm增加到了34.6 nm,晶粒較大,但是晶粒隨薄膜厚度變化不明顯;由于載流子濃度變化不大,隨著結(jié)晶變好,晶界散射減小,霍爾遷移率增大,電阻率持續(xù)下降,可獲得的最低電阻率為8.36x10-4Ω-cm,此時遷穆率為15.3
4、 cm2V-1s-1,載流子濃度為4.88x1020 cm-3。在波長為500 nm-800nm的可見光范圍內(nèi),所有樣品的平均透過率均在90%以上。
2、濺射氣壓對薄膜性質(zhì)的影響
薄膜厚度均為600 nm,濺射功率為100 W,濺射氣壓分別為:0.8 Pa,1.0 Pa,1.6 Pa,2.0 Pa,3.0 Pa。隨著濺射氣壓的提高,薄膜生長速率呈下降趨勢,當0.8 Pa時的56 nm/min降至3.0 Pa時
5、43 nm/min,晶粒尺寸由47.4 nm減小到31.5nml,薄膜的結(jié)晶質(zhì)量變差。在1.0 Pa時,濺射速率快,薄膜中氧空位多,載流子濃度高可達5.2x1020 cm-3,由于電離雜質(zhì)散射的影響,霍耳遷移率降低為10.8cm2V-1s-1。濺射氣壓為2.0 Pa時,可獲得最低的電阻率8.9x104Ω-cm,此時載流子濃度降至4.92×1020 cm-3,霍爾遷移率變?yōu)?4.2 cm2V-1s-1。隨著濺射氣壓的增加,薄膜的透過率有所
6、降低,但是所有樣品在可見光區(qū)域內(nèi)的平均透過率均超過了89%。
3、濺射功率對YZO薄膜性質(zhì)的影響
薄膜厚度為600 nm,濺射氣壓2.0 Pa,襯底不加熱,濺射功率分別為:40W,50 W,60 W,90 W,llOW。隨著濺射功率由40 W增加到11OW,濺射速率明顯增大,從15 nm/min增加到56 nm/min??傮w來看,晶粒尺寸變化不大,基本在33 nm-38 nm之間。當濺射功率為90 W時,載流
7、子濃度達到最大為4.99×1020 cm-3,霍耳遷移率只有14 cm2V-1s-1。最佳功率為50 W,其電阻率為8.71×10-4Ω-cm,載流子濃度為4.25×1020 cm-3,霍爾遷移率為16.8 cm2V-1s-1。隨著濺射功率的增加,高能粒子對薄膜造成損傷,結(jié)晶質(zhì)量變差,導致光子的散射和吸收增加,薄膜在可見光波段的平均透過率降低,但是平均透過率均在90%以上,說明YZO具有良好的透光性。從帶隙來看,隨著濺射功率的增加,帶隙
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