0.6微米eeprom工藝制造的轉(zhuǎn)讓和優(yōu)化

1、r 7 7 0 9 7 0飯旦大學(xué)碩士學(xué)位論文( 專業(yè)學(xué)位)0 ．6 微米E E P R O M 工藝制造的轉(zhuǎn)讓和優(yōu)化院 系： 信息科學(xué)與T 程學(xué)院學(xué)校代碼：學(xué) 號(hào)：專 業(yè)： 電子與通信工程姓 名： 劉瀟指導(dǎo)教師： 鄭國(guó)祥教授龔大衛(wèi)教授完成 日期： 2 0 0 5 年3 月3 1 日】0 2 4 6T 0 2 2 0 2 1 0 8 4摘要A b s t r a c tE E P R O M i s a n e l e c t r i

2、c e r a s a b l e p r o g m m r e a d —o n l y m e m o r y ，I t h a dd e v e l o p e df o r e g r o u n da n dp o p u l a r m a r k e t a p p l i c a t i o n ．T h ep a p e r f o c u s o nt h ep r o b l e m s t u d ya n d

3、 a n a l y s i sw h e nd e v e l o p i n ga n dt r a n s f e r r i n gE E P R O M w i t hl i n ew i d t h a b o u t 0 ．6 u m ．B yu s i n go p t i m i z e d p r o c e s sa n d s t a g e s ．t h e y i e l dw a si m p r o v

4、e d a n dt h e p r o c e s s w a su s e d f o r m a s s p r o d u c t i o n i n A d v a n c e dS e m i c o n d u c t i o nM a n u f a c t u r i n gC o r p o r a t i o ni nS h a n g h a i ．T h e r e a r e l o t so fp a r

5、t i c u l a r i t yo np r o c e s s i n gt h es m a l ll i n ew i d t h < = O ．6 u mE ．g ．t h i n o x i d e g r o w i n g ，B P S G r e f l o w ，e t c h i n g p r o f i l e ，c o n t a c t i s s u e ，a n ds t e p p e rf

6、 a i l u r e p r o b l e m s h a p p e n e dw h e n d o i n g l i t h o s t e p s ，e f o ．O p t i m i z e dw a y so fp r o c e s sa n dm a t e _ r j a lw e r eu s e dt os o l v e t h ea b o v e p r o b l e m sw h i c hc

7、a u s el o wy i e l da n db a d r e l i a b i l i t y ．D i f f e r e n t f a i l u r eb yd i f f e r e n t r o o tc a u s e sw e r e s p e c i a l i z e d i n t h e p a p e r , e ．g ．Q B D f a i l u r e w h i c hw a sc a

8、 u s e d b yc o n t a m i n a t i o n ；e d g ef a i l u r ew h i c hi s c a u s e db yo v e r - e t c h i n g ；h i g h e rl e a k a g ew h i c h c a u s e db y T i N t o o t h i n ，e t c ．T h ep a p e ri s w o r k e df r

9、 o m p r o d u c t i o n p r a c t i c e ．N o w , t h e p r o c e s s i s i nm a s sp r o d u c t i o n i n t h ef o u n d r yf a b I t h a d p r a c t i c e - v a l u ef o rt h es m a l l l i n ew i d t ha n d t h i no