射頻匹配器的原理與設(shè)計(jì)

1、1of17射頻匹配器的原理與設(shè)計(jì)應(yīng)用物理系電子信息工程專業(yè)00級(jí)4班學(xué)生：劉京華指導(dǎo)教師：曾旺輝摘要眾所周知，功率在傳輸過(guò)程中終究是有損耗的。對(duì)于日益普及的芯片也不例外。在芯片的生產(chǎn)過(guò)程中，為使其射頻電源的功率傳輸最大化，我們?cè)O(shè)計(jì)一個(gè)匹配器，用來(lái)使負(fù)載阻抗與射頻電源的阻抗匹配，從而減少反射功率，傳輸功率達(dá)到最大。在這里我們所設(shè)計(jì)的就是射頻匹配器。[關(guān)鍵詞]：射頻匹配，傳輸功率，反射功率，調(diào)諧部分AbstractAsisknowntous

2、thereisinevitablepowerconsumptionduringthepowertransmission.Thesameistruewithchipswhichisincreasinglypopular.Intheprocessofmanufacturingchipswedesignamatchtomaximizethetransmittedpower.Thetheyisthatthematchwouldmatchthei

3、mpedancesofradiofrequencyloadtotheradiofrequencygenerat.Sothatminimumthereflectedpowermaximizethefwardpower.thentherateofthefwardtothereflectedvalueismaximized.Herewhatwearedoingistheradiofrequencymatch——RFMATCH.[Keywd]:

4、RFMATCH.Fwardpower.Reflectedpower.Tuningelements3of172RF匹配器的結(jié)構(gòu)原理RF匹配器是把來(lái)自高功率RF信號(hào)發(fā)器的1356MHz的能量耦合到—個(gè)負(fù)載上去，比如一個(gè)加工室。這個(gè)負(fù)載是一個(gè)可變的阻抗，其阻抗是隨著加工室中加工的運(yùn)作而變化的。RF匹配器自動(dòng)檢測(cè)這個(gè)負(fù)載的情況，通過(guò)調(diào)整它內(nèi)部的調(diào)諧元件的位置使被耦合到加工室里的功率最大。當(dāng)然，這樣反射回RF信號(hào)發(fā)生器的功率也就最小。RF匹配器的

5、工作原理方框圖如圖21所示。圖21RF匹配器方框圖注意：調(diào)諧元件是兩個(gè)特殊的可調(diào)的電抗元件：一個(gè)是可調(diào)電感，一個(gè)是可調(diào)電容。在傳輸路徑中，RF功率分成兩部分：傳輸功率(Pf)和反射功率（Pr）。理想狀態(tài)是Pr／Pr的比值高。只要信號(hào)源和負(fù)載的阻抗匹配，就可以達(dá)到理想狀態(tài)。RF匹配器的目的就是通過(guò)適當(dāng)?shù)卣{(diào)整調(diào)諧元件以改變阻抗，使負(fù)載與RF信號(hào)源產(chǎn)生匹配。匹配器是由檢波板(DECET)、探測(cè)板(PROBE)、控制板(CONTROL)和調(diào)諧元