基于soi環(huán)形諧振腔的加速度傳感器研究

1、分類(lèi)號(hào)：?jiǎn)挝淮a：10110學(xué)號(hào)：S20080563分類(lèi)號(hào)：?jiǎn)挝淮a：10110學(xué)號(hào)：S20080563中北大學(xué)中北大學(xué)碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文基于SOI環(huán)形諧振腔的加速度傳感器研究劉正中北大學(xué)基于SOI環(huán)形諧振腔的加速度傳感器研究劉正中北大學(xué)基于SOI環(huán)形諧振腔的加速度傳感器研究基于SOI環(huán)形諧振腔的加速度傳感器研究碩士研究生劉正碩士研究生劉正指導(dǎo)教師張文棟閆樹(shù)斌指導(dǎo)教師張文棟閆樹(shù)斌學(xué)科專業(yè)電子信息技術(shù)及儀器學(xué)科專業(yè)電子信息技術(shù)及儀器

2、2011年05月29日原創(chuàng)性聲明原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行研究所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫(xiě)過(guò)的科研成果。對(duì)本文的研究作出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本聲明的法律責(zé)任由本人承擔(dān)。論文作者簽名：本人鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行研究所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含其

3、他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫(xiě)過(guò)的科研成果。對(duì)本文的研究作出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本聲明的法律責(zé)任由本人承擔(dān)。論文作者簽名：日期：日期：關(guān)于學(xué)位論文使用權(quán)的說(shuō)明關(guān)于學(xué)位論文使用權(quán)的說(shuō)明本人完全了解中北大學(xué)有關(guān)保管、使用學(xué)位論文的規(guī)定，其中包括：①學(xué)校有權(quán)保管、并向有關(guān)部門(mén)送交學(xué)位論文的原件與復(fù)印件；②學(xué)校可以采用影印、縮印或其它復(fù)制手段復(fù)制并保存學(xué)位論文；③學(xué)?？稍试S學(xué)位論文被查閱或借閱；④學(xué)?？梢詫W(xué)術(shù)交流為目的，

4、復(fù)制贈(zèng)送和交換學(xué)位論文；⑤學(xué)?？梢怨紝W(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容（保密學(xué)位論文在解密后遵守此規(guī)定）。簽名：本人完全了解中北大學(xué)有關(guān)保管、使用學(xué)位論文的規(guī)定，其中包括：①學(xué)校有權(quán)保管、并向有關(guān)部門(mén)送交學(xué)位論文的原件與復(fù)印件；②學(xué)校可以采用影印、縮印或其它復(fù)制手段復(fù)制并保存學(xué)位論文；③學(xué)?？稍试S學(xué)位論文被查閱或借閱；④學(xué)?？梢詫W(xué)術(shù)交流為目的，復(fù)制贈(zèng)送和交換學(xué)位論文；⑤學(xué)?？梢怨紝W(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容（保密學(xué)位論文在解密后遵守此規(guī)定）。簽名