2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩73頁(yè)未讀 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、微位移傳感器,是實(shí)現(xiàn)微小位移測(cè)試的敏感器件,在高精密控制、微操作、微納米定位系統(tǒng)、工程厚度測(cè)試等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。(MEMS)\NEMS技術(shù)的快速發(fā)展,對(duì)微位移傳感提出了更高精度的要求,甚至要求在納米尺度中實(shí)現(xiàn)微小位移的高靈敏快速探測(cè)。利用微納結(jié)構(gòu)中新的光學(xué)特性實(shí)現(xiàn)基于力光特性的微位移傳感,具有精度高、結(jié)構(gòu)緊湊等不可比擬的優(yōu)勢(shì),成為構(gòu)建新型高靈敏微位移傳感的新途徑。
  本論文以高 Q光學(xué)環(huán)形諧振腔為載體設(shè)計(jì)了基于環(huán)形諧振腔的微

2、位移傳感器,并且指出環(huán)形諧振腔的光學(xué)特性直接決定微位移傳感器的性能。論文主體面向高靈敏微位移傳感器的核心部件—環(huán)形諧振腔展開(kāi)研究,主要做了以下工作:
  設(shè)計(jì)了基于環(huán)形諧振腔的微位移傳感器基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)與傳感機(jī)理并介紹了該位移傳感器的材料與微腔選擇依據(jù),分析了環(huán)形諧振腔Q參數(shù)與高靈敏位移傳感的關(guān)系。
  應(yīng)用有限時(shí)間域差分方法(FDTD),對(duì)基于 SOI材料的環(huán)形諧振腔進(jìn)行了系統(tǒng)的光學(xué)特性仿真,并在仿真基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了環(huán)形諧振腔的優(yōu)化

3、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
  應(yīng)用外協(xié)單位的微加工線實(shí)現(xiàn)了上述設(shè)計(jì)的環(huán)形諧振腔制造,并進(jìn)行了形貌和結(jié)構(gòu)測(cè)試以對(duì)比是否實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)的物理參數(shù);通過(guò)改變實(shí)驗(yàn)方案,搭建了環(huán)形諧振腔的優(yōu)化測(cè)試系統(tǒng);通過(guò)自行制造的單錐光纖作為高效率耦合部件實(shí)現(xiàn)了外部光信號(hào)與環(huán)形諧振腔芯片的光互連;應(yīng)用窄線寬(300KHZ)NewFocus TLB-6328連續(xù)可調(diào)諧激光器(功率>20mW,1520nm-1570nm連續(xù)可調(diào))作為激發(fā)光,利用NewFocus 25GHz快速響

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論