LC諧振式耐高溫加速度傳感器的設(shè)計.pdf

1、微/納電子機械系統(tǒng)（M/NEMS）具有小型化、低功耗、集成度高等優(yōu)點，可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù)，也可嵌入大系統(tǒng)中，把自動化、智能化和可靠性提高到一個新的水平。高溫環(huán)境加速度測量技術(shù)一直是困擾著高速導(dǎo)彈、航天飛機測試的一個難題，高溫環(huán)境下傳感器的選用要考慮到各種因素：機械強度、氧化腐蝕、電纜傳輸?shù)葐栴}。因此，研制一種適合高溫環(huán)境測量的的加速度傳感器符合目前高速發(fā)展的核電、武器、宇航的需要。
　　論文中針對任務(wù)書提出的高

2、溫加速度測量技術(shù)的各項指標(biāo)要求和任務(wù)內(nèi)容進行了分析，將研究內(nèi)容，設(shè)計任務(wù)進行分類細化，分別對飛行試驗、地面試驗用傳感器結(jié)構(gòu)進行設(shè)計。并提煉出需要解決的理論、技術(shù)性關(guān)鍵問題。通過對任務(wù)內(nèi)容的梳理，初步確定了研究的思路和總體研究方案，并針對具體內(nèi)容進行了理論研究和仿真分析，根據(jù)仿真結(jié)果對結(jié)構(gòu)進行了優(yōu)化設(shè)計，說明了最終結(jié)構(gòu)的可行性。該方案的進一步實施有助于國內(nèi)耐高溫傳感器產(chǎn)品的技術(shù)創(chuàng)新，有助于提高超高溫環(huán)境下振動測量的穩(wěn)定性、便攜性。本項目的

3、任務(wù)分為三個具體的任務(wù)：非接觸式無源加速度傳感器工作原理研究、耐高溫傳感器芯片工藝設(shè)計研究、高溫環(huán)境下傳感器隔熱封裝結(jié)構(gòu)設(shè)計。這三個任務(wù)有共性的要求，即實現(xiàn)傳感器的高溫測量技術(shù)，但是各部分又相互獨立，分別從原理、工藝、封裝三個方面描述了高溫環(huán)境下傳感器的測量方法。通過試驗論證，說明這種方法的可行性。
　　本文的創(chuàng)新點在于設(shè)計了一種新式工作原理的傳感器，它是利用LC互感諧振原理實現(xiàn)加速度信號的無線傳輸，并設(shè)計了傳感器的耐高溫防護結(jié)構(gòu)