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文檔簡介
1、隨著超大規(guī)模集成電路制造技術(shù)的飛速發(fā)展，互連工藝波動問題已經(jīng)成為影響集成電路設(shè)計與制造的重要因素。本文著重研究超大規(guī)模集成電路中互連工藝波動對互連延時和串擾噪聲的影響。通過分析互連幾何參數(shù)波動對互連寄生參數(shù)的影響，得到其近似的函數(shù)關(guān)系表達式，在此基礎(chǔ)上分別建立了考慮工藝波動的RC互連延時、RLC互連延時和串擾噪聲的統(tǒng)計模型。在給定互連工藝參數(shù)波動范圍的條件下，利用本文提出的模型可以得到互連延時和串擾噪聲均值和標準差的解析表達式。計算結(jié)果
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