SMIC引線3D尺寸在線測量方法的研究.pdf

1、該文以BGA芯片引線的3D尺寸在線測試方法為研究對象,圍繞國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目“表面安裝集成電路引線三維尺寸在線測試方法的研究”（項(xiàng)目編號：69906001）,對SMIC的在線視覺測量進(jìn)行了細(xì)致的理論研究,給出了測量系統(tǒng)參數(shù)的標(biāo)定方法,進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究和分析,獲得了滿意的結(jié)果.該文完成的主要工作如下：1.通過分析現(xiàn)有的SMIC的檢測方法及其優(yōu)缺點(diǎn),針對BGA芯片的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),設(shè)計了測量的整體方案;2.建立測試系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型,確定了測試系統(tǒng)的

2、標(biāo)定方法,完成了標(biāo)定軟件的編程調(diào)試,并進(jìn)行了攝像機(jī)參數(shù)和傳感器參數(shù)的標(biāo)定實(shí)驗(yàn);3.以步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動,實(shí)現(xiàn)了被測器件的動態(tài)非接觸式掃描測量.同時,對動態(tài)誤差進(jìn)行了實(shí)時補(bǔ)償,證明了其在線測量的可行性;4.編制、調(diào)試了測量系統(tǒng)軟件,實(shí)現(xiàn)了步進(jìn)電機(jī)的控制,完成圖像的實(shí)時采集,圖像處理,測量數(shù)據(jù)提取及輸出等功能;5.在實(shí)驗(yàn)室條件下進(jìn)行了BGA芯片引線的三維尺寸的測量實(shí)驗(yàn),由測量數(shù)據(jù)即可計算芯片引線共面性、引線間距及高度、球形引線半徑等參數(shù).該文所論