可植入式微器件中若干技術(shù)的研究.pdf

1、隨著MEMS技術(shù)的迅速發(fā)展，許多種微型器件被研究開發(fā)以用于生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域。可植入式微器件是目前MEMS技術(shù)應(yīng)用于醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的一個(gè)前沿課題。本文主要研究了可植入式器件中的若干問題，包括三個(gè)部分： 第一部分：一種用于可植入微型射頻MEMS電感線圈的研究 首先分析了硅襯底上電感模型及影響其品質(zhì)因數(shù)的各個(gè)因素，在此基礎(chǔ)上研究玻璃襯底上的微型射頻MEMS電感線圈，運(yùn)用HFSS軟件進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，確定了制作工藝，完成了器件的微制造并進(jìn)行了

2、測試。 第二部分：可植入式器件封裝技術(shù)的研究 在對(duì)可植入式器件的要求、性質(zhì)進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上，研究了可植入式器件的封裝技術(shù)。然后以微型射頻MEMS電感線圈作為樣品分別使用兩種方法：金屬封裝法與復(fù)合SixNy-SiO2-SixNy介質(zhì)薄膜和有機(jī)硅膠連用的封裝法對(duì)其進(jìn)行封裝，對(duì)封裝好的樣品在模擬人體環(huán)境的生理鹽水中進(jìn)行了測試。測試結(jié)果表明，使用復(fù)合介質(zhì)薄膜和有機(jī)硅膠進(jìn)行封裝具有更好的性能，能使微器件在植入環(huán)境中長期工作。