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文檔簡介
1、隨著無線通信技術(shù)的不斷發(fā)展,促使無線射頻終端趨于小型化、集成化設計。與傳統(tǒng)介質(zhì)濾波器和聲表面波濾波器技術(shù)相比,新型薄膜體聲波諧振器( Thin Film Bulk Acoustic Resonator, FBAR)具有工作頻率高、插入損耗小、帶外抑制大、溫度系數(shù)低、Q值高、體積小、且可與標準CMOS工藝相兼容等優(yōu)點,有廣闊的應用前景,正越來越受到國內(nèi)外學術(shù)界和業(yè)界的關(guān)注。
本文研究了FBAR器件模型和FBAR技術(shù)的應用兩大
2、方面內(nèi)容,具體對FBAR建模和制備、FBAR濾波器設計和FBAR傳感信號采集芯片設計等三部分內(nèi)容進行了分析研究,主要研究成果如下:
1.從FBAR的Mason等效電路模型出發(fā),建立了ADS仿真模型庫;基于等效復介電常數(shù)建立了FBAR的HFSS三維電磁場仿真模型,實現(xiàn)了FBAR聲場和電磁場的協(xié)仿真。將兩者的仿真結(jié)果進行比較,進一步驗證了模型的準確性和可靠性?;谝呀⒌哪P?,設計制備了不同結(jié)構(gòu)的縱波和剪切模式FBAR,并對樣
3、品進行了測試。測試結(jié)果表明,F(xiàn)BAR的Q值最高可達1350左右。
2.設計了用于GSM、PHS、WCDMA通信終端的FBAR帶通濾波器,以及用于MIMO終端的多工器,仿真結(jié)果表明,濾波器和多工器有著優(yōu)良的濾波特性,完全可滿足目前各通信終端的要求;研究分析了FBAR堆疊濾波器、FBAR帶阻濾波器、剪切模式FBAR濾波器的原理和設計方法,給出了相應的設計實例,并提出了一種具有隔離層的多耦合型濾波器;對包括寄生、帶寬、帶外抑制、
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