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文檔簡介
1、STM作為一種新型的儀器,它本身至今仍是一個(gè)值得探究的課題.本文所涉及的研究內(nèi)容得到國家"985工程"重點(diǎn)學(xué)科建設(shè)項(xiàng)目的資助,主要進(jìn)行了以下幾方面的工作:①分析了國內(nèi)外STM的發(fā)展現(xiàn)狀、STM的特點(diǎn)、局限性及其主要應(yīng)用領(lǐng)域.介紹了STM的工作原理,對電子隧道效應(yīng)現(xiàn)象和隧道電流作了介紹.②對STM IPC-205B型機(jī)關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了探討,主要包括:大范圍快速掃描的微位移傳動(dòng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì);對實(shí)現(xiàn)STM理論精度有重大影響的振動(dòng)源的物理機(jī)理以及防
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