IPC-208B型原子力顯微鏡的鏡體設(shè)計(jì)及其應(yīng)用.pdf

1、原子力顯微鏡(AFM)是在掃描隧道顯微鏡(STM)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的表面檢測儀器,它克服了STM不能檢測絕緣材料的缺點(diǎn),是納米科技中最為有效和重要的檢測加工手段,它的發(fā)明和應(yīng)用極大地促進(jìn)了納米科技的發(fā)展。反之隨著原子力顯微鏡成功的應(yīng)用于物理、化學(xué)、微電子、納米材料、生命科學(xué)和微機(jī)械加工等眾多科學(xué)領(lǐng)域中,對于儀器本身的結(jié)構(gòu)、性能、穩(wěn)定性、操作的簡便性都有不同的要求,因而更加引起人們的重視其發(fā)展和產(chǎn)業(yè)化。通過對AFM基本原理的了解,以及對相

2、應(yīng)于不同應(yīng)用的改進(jìn)技術(shù)和在同樣原理基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新型檢測儀器的了解為背景,通過比較和分析,找出現(xiàn)有儀器主要的缺陷和不足,在比較深入的體會的基礎(chǔ)之上,改進(jìn)原有儀器的不足,設(shè)計(jì)出IPC—208B型原子力顯微鏡,它集AFM與STM為一體的AFM,其中的STM可以單獨(dú)使用。并進(jìn)行了一些實(shí)驗(yàn)研究,檢驗(yàn)儀器的性能。目前,該機(jī)已有很好的檢測效果,其橫向分辨力優(yōu)于0.1nm,縱向分辨力0.01nm,不僅拓展了AFM的應(yīng)用領(lǐng)域,也為AFM在國內(nèi)的普及和