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1、原子力顯微鏡(AFM)作為納米科技中最為有效和重要的檢測(cè)加工手段之一,其應(yīng)用隨著納米科技熱的興起而日益引起人們的重視,儀器本身的穩(wěn)定性、圖像質(zhì)量、操作的簡(jiǎn)便性以及應(yīng)用領(lǐng)域的拓展和產(chǎn)業(yè)化也越來(lái)越受到關(guān)注。 通過(guò)對(duì)AFM基本原理的了解,以及對(duì)相應(yīng)于不同應(yīng)用的改進(jìn)技術(shù)和在同樣原理基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的新型檢測(cè)儀器的了解為背景,通過(guò)比較和分析,找出給現(xiàn)有AFM儀器增加新功能的可行性。在對(duì)其主要的缺陷和不足有了比較深入認(rèn)識(shí)的基礎(chǔ)之上,針對(duì)IPC
2、-208BJ型機(jī)的研制和應(yīng)用過(guò)程中碰到的問(wèn)題,提出了配合新應(yīng)用的改進(jìn)方案,并進(jìn)行了初步的實(shí)驗(yàn)研究,積累了應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。不僅拓展了AFM的應(yīng)用領(lǐng)域,也為AFM在國(guó)內(nèi)的普及和產(chǎn)業(yè)化奠定了良好的基礎(chǔ)。 本論文研究的主要內(nèi)容包括:研究了AFM掃描控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基本理論,尋找出電路中適于引入其他裝置以增加新功能的工作點(diǎn);根據(jù)掃描隧道譜(STS)相關(guān)實(shí)驗(yàn)方式,在IPC-208BJ型機(jī)的反饋回路中引入控制開關(guān),并借助外圍設(shè)備(函數(shù)信號(hào)發(fā)生器、存儲(chǔ)
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