六自由度宏-微一體化并聯(lián)操作臺系統(tǒng)研究.pdf

1、微納米技術(shù)的迅猛發(fā)展使得研究對象不斷微細化，在光學(xué)、超精密加工及測量、生物工程、醫(yī)學(xué)工程、微機電系統(tǒng)(MEMS)裝配作業(yè)等領(lǐng)域都需要微操作系統(tǒng)的參與，微操作系統(tǒng)因而具有廣闊的應(yīng)用前景。 隨著科技的發(fā)展，這些領(lǐng)域?qū)λ鶓?yīng)用的微操作系統(tǒng)提出了更高的要求，特別是運動精度、響應(yīng)速度、力感覺、可控性、靈活性等方面的要求越來越高。對于微操作任務(wù)來說，在關(guān)注納米級高精度定位的同時，還要兼顧微米級的大范圍宏動定位。針對上述情況，國內(nèi)外學(xué)者對宏/微

2、雙重驅(qū)動系統(tǒng)進行了一系列的研究，并取得一定的成果。 本課題涉及到的宏/微一體化操作臺系統(tǒng)，是一種新型的雙并聯(lián)機構(gòu)高精度六維定位系統(tǒng)，具有大行程、快速定位、高精度定位補償?shù)葍?yōu)點。伺服電機驅(qū)動的宏動臺完成大行程、高速、高加速度微米級定位；宏動臺終端的微動機構(gòu)，由壓電陶瓷驅(qū)動，經(jīng)柔性鉸鏈傳遞運動，實現(xiàn)納米級的分辨率和精度誤差補償定位。本文從機構(gòu)設(shè)計、系統(tǒng)的動力學(xué)建模、系統(tǒng)設(shè)計、宏/微控制策略等問題進行深入的探討研究。 在機構(gòu)設(shè)

3、計方面，根據(jù)理論結(jié)構(gòu)，推導(dǎo)了宏動臺和微動臺的正反運動學(xué)方程?；谔摂M樣機技術(shù)，建立了微動臺結(jié)構(gòu)的理論模型，對理論結(jié)構(gòu)下微動臺的正/逆向運動學(xué)、動力學(xué)做了模擬仿真分析，仿真結(jié)果驗證了理論推導(dǎo)的正確性。 在系統(tǒng)的動力學(xué)建模方面，動態(tài)輸入下引入柔性環(huán)節(jié)。通過有限元分析方法建立柔性鉸鏈模型，并結(jié)合動態(tài)仿真軟件建立更精確的剛?cè)峄旌蟿恿W(xué)模型，進行求解分析，得到更接近真實系統(tǒng)的動態(tài)響應(yīng)特性，為控制系統(tǒng)設(shè)計及實驗研究提供理論基礎(chǔ)。 在

4、系統(tǒng)設(shè)計方面，在對宏動臺和微動臺的結(jié)構(gòu)特性、控制功能做出詳細分析情況下，分別進行了相應(yīng)系統(tǒng)的硬件選擇和實驗設(shè)計，并基于LabVIEW軟件平臺進行了控制系統(tǒng)的軟件開發(fā)。 在宏/微控制策略方面，提出了宏/微驅(qū)動控制策略，在綜合考慮各種控制方法的基礎(chǔ)上，對微動臺采用了神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)自適應(yīng)PID控制，并對該種控制方法進行了較詳細的分析?；贚abVIEW數(shù)據(jù)采集平臺的六維微位移傳感器，建立了宏/微操作臺全閉環(huán)控制系統(tǒng)模型，構(gòu)建了實驗系統(tǒng)，分別