多表面干涉波面復(fù)原技術(shù)研究.pdf

1、慣性約束核聚變(ICF)成為當(dāng)今世界各國(guó)為發(fā)展核能源的重要研究方向。準(zhǔn)確的測(cè)量光學(xué)元件面形對(duì)此項(xiàng)研究具有非常重要的作用。在測(cè)量平行平板類光學(xué)元件時(shí)，通常會(huì)產(chǎn)生多表面干涉，使用普通硬件移相干涉儀進(jìn)行測(cè)量，無(wú)法區(qū)分多組干涉條紋，從而不能準(zhǔn)確的測(cè)量光學(xué)元件的面形。本論文針對(duì)多表面干涉波面復(fù)原技術(shù)展開(kāi)研究。
　　 根據(jù)波長(zhǎng)移相原理與傅里葉變換理論，結(jié)合三表面干涉，通過(guò)計(jì)算得到不同厚度下的被測(cè)元件厚度與前標(biāo)準(zhǔn)鏡和被測(cè)元件間距離的最優(yōu)比例關(guān)

2、系。對(duì)采集到的多組干涉圖進(jìn)行傅里葉變換，通過(guò)提取帶有被測(cè)元件前后表面面形的頻率信息，采用論文設(shè)計(jì)的重構(gòu)算法得到準(zhǔn)確的前后表面面形信息。構(gòu)建了仿真平臺(tái)，分別對(duì)在不同厚度、不同平行度、不同畸變量的被測(cè)平行平板光學(xué)元件進(jìn)行分析，結(jié)果表明算法在這幾種邊界條件下可行，并且有較高的精度。
　　 搭建實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)，分別對(duì)厚、薄兩塊平行平板光學(xué)元件進(jìn)行測(cè)量，計(jì)算得到被測(cè)元件的面形。為了與論文算法得到的面形結(jié)果進(jìn)行對(duì)比，對(duì)兩塊元件涂抹凡士林后使用