場發(fā)射槍透射電子顯微鏡主體鏡筒的設(shè)計分析.pdf

1、電子顯微鏡的問世，使人們探求微觀世界的奧秘成為可能。經(jīng)過多年的發(fā)展，它已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的重要工具。近些年來，我國的電子顯微學(xué)有了長足的進(jìn)步，但是同國外相比，我國目前在電子顯微鏡的研制方面技術(shù)相對薄弱，所能夠制造出的電子顯微鏡在穩(wěn)性定、可靠性、分辨率等方面與國外相比還有不小差距。尤其在透射電子顯微鏡制造方面，目前我國還沒有形成一條透射電子顯微鏡產(chǎn)業(yè)鏈。因此，高分辨率透射電子顯微鏡的研制有著十分重要的意義。
　　 本文以

2、電子光學(xué)為基礎(chǔ)，利用有限元分析軟件ANSYS對主體鏡筒不同部分進(jìn)行載荷和熱計算分析。針對觀察室在不同載荷作用下的應(yīng)力和應(yīng)變狀態(tài)進(jìn)行了數(shù)值模擬，得出觀察室的應(yīng)力和應(yīng)變分布情況。同時，對一體化設(shè)計的觀察室和隔離閥進(jìn)行了應(yīng)力和應(yīng)變狀態(tài)的數(shù)值模擬，分析了其應(yīng)力和應(yīng)變分布情況，證明了觀察室與隔離閥一體化設(shè)計這種思路的正確性。針對物鏡、中間鏡和投影鏡以及聚光鏡進(jìn)行了熱分析，在不同溫度條件分別對鏡筒主體進(jìn)行了無水冷和有水冷等環(huán)境下溫度場分布情況的有限