主動(dòng)減振系統(tǒng)傳感單元設(shè)計(jì)與分析.pdf

1、隨著超精密加工設(shè)備精度的不斷提高,對(duì)加工環(huán)境的要求也越發(fā)苛刻,對(duì)振動(dòng)的要求便是其中非常重要的一項(xiàng)。相比于傳統(tǒng)的被動(dòng)隔振方式,主動(dòng)隔振方式能夠獲得更寬的隔振頻帶,且能夠克服被動(dòng)隔振無(wú)法同時(shí)對(duì)地面振動(dòng)和負(fù)載振動(dòng)進(jìn)行良好隔離的劣勢(shì)。而傳感單元是主動(dòng)減振實(shí)現(xiàn)其功能的重要組成部分,對(duì)其進(jìn)行深入的研究有重要的理論和實(shí)用意義。
　　本文從主動(dòng)減振系統(tǒng)的工作原理出發(fā),提出了對(duì)傳感單元的功能要求,在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)并分析了傳感單元的總體實(shí)現(xiàn)方案,對(duì)其中

2、將要采用的非接觸位移傳感器、絕對(duì)速度傳感器進(jìn)行了選型比較,確定了所選傳感器的型號(hào)及性能指標(biāo),完成了傳感單元總體方案的設(shè)計(jì)。
　　建立了速度傳感器的動(dòng)態(tài)模型,從機(jī)械結(jié)構(gòu)及外部噪聲等方面分析了其低頻檢測(cè)的限制因素。闡述了對(duì)速度傳感器進(jìn)行軟件低頻補(bǔ)償?shù)脑?并應(yīng)用不同的方法設(shè)計(jì)了補(bǔ)償器,對(duì)比了這幾種方法的時(shí)域仿真結(jié)果,針對(duì)其中兩種可行的方法作了詳細(xì)介紹,從時(shí)域結(jié)果及頻域結(jié)果比較了兩者的補(bǔ)償效果,為實(shí)際應(yīng)用中選擇合適的方法進(jìn)行速度傳感器的