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1、主動減振系統(tǒng)是精密制造、測量裝備實現(xiàn)精度生成的必要保障,精密減振系統(tǒng)要處理的微振動具有頻帶寬、微幅值、來源復(fù)雜的特點,給精密減振系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計和控制設(shè)計提出了巨大挑戰(zhàn)。被動隔振單元元件與傳感器、作動器結(jié)合可以構(gòu)成主動減振裝置,但受限于傳感器、作動器的體積,對于需要微幅精密減振的小型設(shè)備而言,這種主動減振裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜,體積較大。因此,對于需要進行微幅振動抑制的小質(zhì)量精密設(shè)備,設(shè)計一種結(jié)構(gòu)緊湊、集成度高的精密主動減振裝置具有重要的實用意義。
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