光纖法珀壓力傳感器的研究.pdf

1、光纖傳感器由于其本身特有的優(yōu)勢，如結(jié)構(gòu)簡單、體積小、無電磁干擾，在航空航天、能源、建筑等工業(yè)和軍事領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。
　　光纖法珀傳感器是光纖傳感器中的典型代表，隨著各種微加工技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了各種微型的光纖法珀傳感器。光纖法珀壓力傳感器繼承了光纖傳感器的基本優(yōu)點(diǎn)，并得到了較好的發(fā)展應(yīng)用。目前光纖法珀壓力傳感器已經(jīng)應(yīng)用于渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)和油井等環(huán)境的壓力測量。
　　本文圍繞光纖法珀壓力傳感器展開，針對國家重點(diǎn)需求領(lǐng)域，致力于通

2、過157nm激光微加工技術(shù)制造一種微型耐高溫的光纖法珀壓力傳感器，用于高溫壓力測試。
　　論文簡要介紹了光纖法珀的基本分類和原理，根據(jù)膜片感壓原理在理論上計(jì)算了所需傳感器的尺寸，并按照實(shí)際需求設(shè)計(jì)了兩種量程的光纖法珀壓力傳感器，利用157 nm激光加工技術(shù)在普通單模光纖上制作壓力傳感器，制成了一種工藝可靠、尺寸微小的光纖法珀壓力傳感器。然后搭建實(shí)驗(yàn)平臺對傳感器的主要性能指標(biāo)進(jìn)行測試，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，兩種光纖法珀壓力傳感器在各自的量程