光纖法珀壓力傳感器信號質(zhì)量及穩(wěn)定性研究.pdf

1、光纖法珀壓力傳感器目前在航天航空、石油化工、能源和建筑等軍事和工業(yè)民用領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用前景。結(jié)合光纖技術(shù)和MEMS技術(shù)的光纖法珀壓力傳感器具有體積小、抗電磁干擾能力強、防腐蝕、靈敏度高、適應(yīng)惡劣環(huán)境能力強、一致性好及大批量生產(chǎn)等優(yōu)勢，可滿足惡劣環(huán)境下對傳感器的測量精度和穩(wěn)定性的要求，受到廣泛關(guān)注和研究。針對高精度高穩(wěn)定的壓力傳感要求，本文開展了光纖法珀壓力傳感器的信號質(zhì)量及穩(wěn)定性研究。
　　本文的具體研究內(nèi)容包括:
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2、、研究了光纖法珀壓力傳感頭光束傳輸模型，分析了干涉條紋強度及對比度與反射率及傳感頭厚度的關(guān)系，實現(xiàn)傳感器最優(yōu)信號質(zhì)量;研究了傳感器膜片形變的彈性力學特性模型，分析了傳感頭尺寸參數(shù)對硅膜片形變的影響;分析和介紹了光纖法珀壓力傳感器的傳感頭芯片鍵合機理和鍵合工藝流程。
　　2、研究了光纖法珀壓力傳感器信號質(zhì)量評價指標，進行了信噪比對光纖法珀壓力傳感解調(diào)干涉級次跳變及絕對相位影響的理論分析，搭建了光纖法珀壓力傳感解調(diào)實驗測試系統(tǒng)，并進行