高靈敏度光纖壓力傳感器的研究.pdf

1、光纖傳感器作為一種重要的傳感器件，由于其在被廣泛應(yīng)用于信號(hào)檢測(cè)和傳感領(lǐng)域。在各類高靈敏光纖傳感器中，法布里-珀羅型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、腔長(zhǎng)短、精度高的特點(diǎn)，實(shí)用化程度最高；而為進(jìn)一步提高傳感器靈敏度并且保持光纖傳感器體積小的優(yōu)點(diǎn)，基于非本征型光纖法布里-珀羅干涉儀的膜片式壓力傳感器成為近期前沿的研究熱點(diǎn)?，F(xiàn)階段非本征型光纖法布里-珀羅壓力傳感器常用蝕刻的方法形成空心腔以及化學(xué)合成的方法制備傳感薄膜，此工藝已經(jīng)成功的實(shí)現(xiàn)光纖壓力傳感器的生產(chǎn)及應(yīng)

2、用。本論文在此基礎(chǔ)上進(jìn)行以毛細(xì)玻璃管作為腔體，利用熱沉積的方法完成傳感薄膜的制備與優(yōu)化，通過(guò)亞微米薄膜的低損耗轉(zhuǎn)移技術(shù)，制備非本征型光纖法布里-珀羅壓力傳感器的研究。具體進(jìn)行以下研究工作：
　　首先，介紹光纖傳感器的發(fā)展歷程，闡述光纖膜片式壓力傳感器傳感特性及其在傳感領(lǐng)域的應(yīng)用。
　　其次，研究膜片式壓力傳感器的傳感機(jī)理，分析非本征膜片式光纖壓力傳感器中的干涉理論。
　　再次，系統(tǒng)研究了傳感器在制備過(guò)程中膜片的形變?cè)?/p>