28.3lpm高靈敏度塵埃粒子計(jì)數(shù)器傳感器的研制

1、聲 明本學(xué)位論文是我在導(dǎo)師的指導(dǎo)下取得的研究成果，盡我所知，在本學(xué)位論文中，除了加以標(biāo)注和致謝的部分外，不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或公布過的研究成果，也不包含我為獲得任何教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或?qū)W歷而使用過的材料。與我一同工作的同事對(duì)本學(xué)位論文做出的貢獻(xiàn)均己在論文中作了明確的說明。研究生簽名： 蒸j 壟 糾牛年三月M 舊學(xué)位論文使用授權(quán)聲明南京理工大學(xué)有權(quán)保存本學(xué)位論文的電子和紙質(zhì)文檔，可以借閱或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部內(nèi)容，可以向有關(guān)部門或機(jī)

2、構(gòu)送交并授權(quán)其保存、借閱或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部內(nèi)容。對(duì)于保密論文，按保密的有關(guān)規(guī)定和程序處理。研究生簽名： 為幾年3 月巧日A b s t r a c tO p t i c a l p a r t i c l ec o u n t e r ( O P C ) i sd e s i g n e d t om e a s u r e t h es i z ea n d n u m b e r p a r t i c l e ss

3、u s p e n d e d i na c l e a ne n v i r o n m e n t ．I tp l a y s a v e r y i m p o r t a n t r o l ei nt h e c l e a n r o o m t e c h n o l o g y ．P a r t i c l eC o u n t e r d o m e s t i ct e c h n o l o g y i sr e

4、l a t i v e l yb a c k w a r d ．W i t h t h e d e v e l o p m e n t o fi n d u s t r i a lt e c h n o l o g y , t h es e n s i t i v i t y o f d o m e s t i cc o m m e r c i a l p a r t i c l ec o u n t e r h a s g r a d

5、 u a l l yC a nn o t m e e tt h er e q u i r e m e n t s ．T h ek e y o f t h e d e v e l o p m e n t o f d o m e s t i c p a r t i c l ec o u n t e ro fh i g h e r s e n s i t i v i t y l i e si nt h ed e s i g n o f t h

6、 ep a r t i c l ec o u n t e r s e n s o r ．I nt h i sP a p e r ，w es t a r tf r o mt h ec h a r a c t e r i s t i e so f t h es c a t t e r e d l i g h t 丘．o mt h e s u b ．m i c r o np a r t i c l e s ，a n da n a l y s

7、i s f a c t o r st h a ta f f e c tt h e p a r t i c l ec o u n t e r s e n s o rs e n s i t i v i t y a n d r e s o l u t i o ni nt e r m so f t h eo p t i c a ls y s t e ma n d s a m p l i n gf l o w s y s t e m ．W ed

8、e s i g na h i g h - s e n s i t i v i t ys e n s o r ．W e u s e a h i g h p o w e r l a s e rd i o d e a sl i g h ts o u r c e ，w h i c hg r e a t l y i m p r o v e s t h ep o w e r d e n s i t y o ft h e p h o t o s e

9、n s i t i v er e g i o n ．T h eo p t i c a l n o i s eh a s b e e nr e d u c e d e f f e c t i v e l y b yt h ea p e r t u r ea n dl i g h tt r a p ．T h e w h o l e —s e m i c o n d u c t o rO P C s e n s o r h a s a s m

10、 a l ls i z ea n d s i m p l e s t r u c t u r e ．T h e O P C s e n s o ri Sc a l i b r a t e da c c o r d i n g t ot h en a t i o n a ls t a n d a r d ．T h i ss e s o r C a n d e t e c tp a r t i c l e sf r o m O ．15 u

11、m t oO ．5 u m ．a(chǎn) n di t ss a m p l i n gf l o w i s2 8 ．3 L P M ．T h e r e s o l u t i o no f t h i sO P Cs e n s o r i So v e r 8 0 ％．i nl i n ew i t h t h en a t i o n a ls t a n d a r d ．K e y w o r d ：o p t i c a l p