探針臺運動控制及晶圓定位對準技術研究.pdf

1、探針臺是一種晶圓探針測試設備，探針測試在半導體器件制造流程具有重要的地位，通過探針測試，可及時發(fā)現(xiàn)晶圓中性能異常的晶粒，減少后續(xù)工序的加工耗費。目前晶圓直徑不斷增大，而晶粒卻越來越小，對晶圓測試設備的自動化程度提出了較高的要求，傳統(tǒng)的手動或半自動測試需要較多的人工參與，因而發(fā)展全自動探針臺是提高晶圓探針測試效率的重要手段。國內的探針臺因為起步較晚，在自動化方面與國外存在較大差距。運動控制和晶圓自動定位對準技術是提高探針測試自動化程度及測

2、試效率的關鍵技術，本課題針對探針測試的特點，對用于探針臺的運動控制卡和基于機器視覺的晶圓自動定位對準技術做了研究。
　　大部分探針臺系統(tǒng)采用PC加運動控制卡的控制方案，本文根據(jù)探針臺的運動特點，提出了運動控制卡必須具有的功能，選用FPGA器件以及NIOS軟核處理器，設計插補、加減速控制、I/O濾波等運動控制算法；用Windriver和C++開發(fā)了上位機驅動程序和運動控制調用函數(shù)，設計了一款基于PCI總線的4軸運動控制卡，具有4軸線