基于PC的探針臺(tái)系統(tǒng)及視覺定位的研究.pdf

1、本文設(shè)計(jì)了基于PC的探針臺(tái)數(shù)控系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用PC+電機(jī)控制卡+圖像采集卡的形式構(gòu)建。 本文提出了針對探針臺(tái)系統(tǒng)的數(shù)控軟件的設(shè)計(jì)方法，分析了其軟件的總體結(jié)構(gòu)。按照面向?qū)ο蟮某绦蛟O(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)了軟件的各功能單元模塊，完成了參數(shù)輸入、伺服電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制、人機(jī)界面實(shí)時(shí)顯示、利用圖像模板匹配技術(shù)進(jìn)行自動(dòng)定位等功能。對測試過程中需要進(jìn)行的數(shù)據(jù)處理過程進(jìn)行了分析。在此基礎(chǔ)上開發(fā)出了基于PC的探針臺(tái)系統(tǒng)的控制軟件。 另一方面，針對晶片在測

2、試之前需要自動(dòng)定位的問題，本文采用計(jì)算機(jī)視覺技術(shù)實(shí)現(xiàn)晶片的自動(dòng)定位。自動(dòng)定位的實(shí)現(xiàn)是基于圖像模板匹配技術(shù)。本文對圖像模板匹配的基本概念，實(shí)現(xiàn)原理和目前的圖像模板匹配技術(shù)進(jìn)行了介紹，對目標(biāo)圖像存在平移和旋轉(zhuǎn)的情況進(jìn)行了研究和探討。本文討論了幾種基本的圖像模板匹配算法，包括互相關(guān)算法的改進(jìn)算法；幅度排序的相關(guān)算法；同心圓環(huán)窗口的矩匹配算法，并對互相關(guān)算法的改進(jìn)算法與同心圓環(huán)窗口的矩匹配算法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明在成像質(zhì)量較好的情況下，