嵌入式晶圓預對準控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、在21世紀，微電子技術是信息產(chǎn)業(yè)的主要技術支撐之一，光刻技術一直是推動集成電路(IC)制造業(yè)向前發(fā)展的關鍵技術之一，廣泛應用于電子封裝、光電設備、探測器、MEMS設備和顯示器等領域。
　　本課題主要研制用于12英寸晶圓預對準的嵌入式控制系統(tǒng)。
　　光刻機是微電子器件制造業(yè)的重要工具，晶圓處理系統(tǒng)是光刻機的重要組成子系統(tǒng)，晶圓預對準系統(tǒng)是晶圓處理系統(tǒng)的核心，其對準精度直接影響硅片的曝光精度，因此對晶圓預對準系統(tǒng)運動和控制精度要

2、求很高，使得該系統(tǒng)的制造成本變得極其昂貴，因此，研制具有小型化、集成化特點的高精度、高效率的晶圓預對準系統(tǒng)具有重要的實用價值。
　　首先，根據(jù)晶圓預對準系統(tǒng)的功能、工作流程確定了系統(tǒng)的結構，并確定了晶圓預對準的檢測算法，運用最小二乘圓法作為系統(tǒng)晶圓圓心的檢測方法，采用邊緣變化率算法查找缺口范圍，再通過圓弧擬合的方法求出缺口中心位置。在此基礎上得出了所設計嵌入式晶圓預對準控制系統(tǒng)的控制任務。
　　其次，選定了嵌入式控制器的數(shù)字

3、信號處理器芯片TMS320LF2407A，根據(jù)系統(tǒng)的控制任務確定了嵌入式控制系統(tǒng)的總體控制結構，分析了嵌入式控制器各項的控制功能，在此基礎上進行了硬件電路的設計。然后基于晶圓預對準的檢測算法進行了嵌入式控制系統(tǒng)的軟件設計。所設計的控制系統(tǒng)可以在脫離PC機的基礎上完成對晶圓預對準的控制，對預對準系統(tǒng)向小型化、集成化方向發(fā)展有一定的借鑒意義。
　　最后，對晶圓預對準系統(tǒng)進行精度分析，驗證了系統(tǒng)在設計上滿足晶圓預對準的精度要求；同時運用