基于USM60電機的精密平臺設計與控制算法研究.pdf

1、精密加工技術對微電子、生物、醫(yī)療、航空、航天等方面都有至關重要的作用，高精密加工、定位技術也已成為科研工作的重要內容，若沒有精密定位工作臺將無法開展相應的檢測與研究。為滿足高精度加工與定位要求，減小人為誤差，增強設備的自動化程度，本文設計了一套功能完善的二維精密定位平臺控制系統(tǒng)。
　　針對二維精密定位控制平臺，本文進行了一系列的研究。首先，針對定位平臺的三維結構進行設計，根據(jù)設計指標選擇并安裝合適的硬件，選用USM60超聲電機作為

2、平臺的驅動單元，平臺位置測量部分選用光柵尺位移傳感器實時采集位置信息;其次，采用LabVIEW編程軟件為該系統(tǒng)編寫控制程序，通過Matlab仿真，分析并比較不同類型PID控制算法，軟件主要用來采集平臺的位置數(shù)據(jù)及控制電機的旋轉，含有人機交互、測試、數(shù)據(jù)處理與顯示等一系列內容;再次，比較實際使用中在文中提出的不同控制算法下平臺的響應結果，根據(jù)響應速度、超調量、穩(wěn)態(tài)誤差等方面的比較，選擇控制效果最好的變速積分式PID控制算法作為本系統(tǒng)最優(yōu)控