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文檔簡(jiǎn)介
1、本工作采用蒙特卡羅(Monte-Carlo)計(jì)算機(jī)模擬的方法，對(duì)以CH_4／H_2為源氣體的電子助進(jìn)化學(xué)氣相沉積(EACVD)金剛石薄膜中的氣相分解過程進(jìn)行了研究，初步建立了EACVD氣相動(dòng)力學(xué)模型，并討論了EACVD中的低溫沉積過程。主要結(jié)果如下：平均電子能量隨著反應(yīng)室內(nèi)氣壓的增加呈下降趨勢(shì)；在較低氣壓范圍內(nèi)平均電子能量隨著反應(yīng)源氣體中甲烷濃度的增加而減少；在較高氣壓范圍內(nèi)平均電子能量則隨著甲烷濃度的增加而增加；隨著氣壓的增加碎片H和
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