MEMS微驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)、工藝及應(yīng)用.pdf

1、微驅(qū)動(dòng)器作為MEMS十分重要的分支之一,近年來(lái)受到國(guó)外和國(guó)內(nèi)研究人員的廣泛關(guān)注,并且具有廣闊的應(yīng)用前景。本文提出的低驅(qū)動(dòng)電壓、大變形的MEMS微驅(qū)動(dòng)器,可用于微諧振器、微機(jī)械光開(kāi)關(guān)、相控陣天線、RF開(kāi)關(guān)、移相器等微器件中。
　　論文主要包括以下內(nèi)容:
　　1.本文所研究的MEMS微驅(qū)動(dòng)器模型是基于壓桿穩(wěn)定、縱橫彎曲、靜電驅(qū)動(dòng)等原理和MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)加工的,其結(jié)構(gòu)包括直梁結(jié)構(gòu)和折梁結(jié)構(gòu),本文對(duì)其原理與結(jié)構(gòu)尺寸的選取進(jìn)行了詳細(xì)的

2、介紹。
　　2.對(duì)MEMS微驅(qū)動(dòng)器的參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。改變MEMS微驅(qū)動(dòng)器中梁的厚度,分析對(duì)微梁的撓度的影響,當(dāng)微驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)電壓為11V時(shí),直梁結(jié)構(gòu)和折梁結(jié)構(gòu)所對(duì)應(yīng)的最大振動(dòng)撓度分別為10.31μm和11.27μm;通過(guò)改變調(diào)節(jié)電極的長(zhǎng)度和個(gè)數(shù),分析了軸向載荷大小對(duì)微驅(qū)動(dòng)器最大振動(dòng)撓度的影響。
　　3.介紹了微驅(qū)動(dòng)器主要的加工工藝,并設(shè)計(jì)了驅(qū)動(dòng)器加工所需掩膜版、加工流片以及微梁的裝配。
　　4.將微驅(qū)動(dòng)器用于RF開(kāi)關(guān),