基于MEMS技術(shù)的聲表面波微驅(qū)動(dòng)器件.pdf

1、聲表面波是一種沿物體表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?，它能夠在兼作傳聲介質(zhì)和電聲換能材料的壓電基底材料表面進(jìn)行傳播。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的發(fā)展進(jìn)步，聲表面波研究向諸多領(lǐng)域進(jìn)行延伸研究。上世紀(jì)90年代，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了利用聲表面波驅(qū)動(dòng)固體。進(jìn)入二十一世紀(jì)，聲表面波在微流體應(yīng)用研究取得了巨大的發(fā)展。應(yīng)用聲表面波器件可以實(shí)現(xiàn)固體驅(qū)動(dòng)、液滴驅(qū)動(dòng)、微加熱、微粒集聚\混合、霧化。聲表面波驅(qū)動(dòng)器件在片上實(shí)驗(yàn)室(Lab‐on‐chip)具有很好的應(yīng)用前景。本論文包

2、括如下部分：介紹了引入MEMS加工技術(shù)對(duì)研究聲表面波器件的意義，論述了聲表面波器件的國內(nèi)外研究水平與發(fā)展趨勢(shì)。闡述了聲表面波的原理與特點(diǎn)，對(duì)材料、工藝選擇做了詳細(xì)的探討，采用了剝離工藝制造了驅(qū)動(dòng)器件，對(duì)聲表面波在微流體霧化、微粒集聚/混合、微流體驅(qū)動(dòng)以及固體驅(qū)動(dòng)四方面的應(yīng)用作了介紹。闡述了基于聲表面波液體驅(qū)動(dòng)的原理，實(shí)現(xiàn)了液體驅(qū)動(dòng)，推導(dǎo)了液滴驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)模型，證明了實(shí)驗(yàn)結(jié)果與運(yùn)動(dòng)模型推導(dǎo)結(jié)果一致。最后，提出了一種基于聲表面波液體驅(qū)動(dòng)的液體