聲表面波器件的設(shè)計(jì)仿真及其應(yīng)用研究.pdf

1、針對(duì)目前器件的版圖設(shè)計(jì)周期相對(duì)較長(zhǎng),設(shè)計(jì)的正確率也相對(duì)較低,并且尚未有系統(tǒng)的開發(fā)軟件、系統(tǒng)或平臺(tái)出現(xiàn)的這些問題,提出了利用MATLAB強(qiáng)大的運(yùn)算功能,作圖功能和其中的GUI技術(shù)實(shí)現(xiàn)基于多條耦合器的聲表面波版圖設(shè)計(jì)。通過控制參數(shù)的輸入,輸出器件的版圖。使在設(shè)計(jì)階段實(shí)現(xiàn)器件版圖的直接觀察、縮短器件設(shè)計(jì)周期、提高器件版圖設(shè)計(jì)正確率、降低設(shè)計(jì)強(qiáng)度和費(fèi)用。
　　針對(duì)聲表面波(SAW)器件模擬仿真模型復(fù)雜、計(jì)算量大的問題,提出了利用ANSYS

2、軟件進(jìn)行 SAW器件的建模與仿真。首先闡述了 SAW器件的結(jié)構(gòu)及其原理;然后利用ANSYS軟件對(duì)SAW器件進(jìn)行建模和仿真,完成模態(tài)分析和諧響應(yīng)分析;最后根據(jù)仿真結(jié)果得出結(jié)論:SAW的能量主要集中在固體表面1~2個(gè)波長(zhǎng)內(nèi);振幅隨深入固體材料的深度增加而迅速減小;晶體基片表面發(fā)生的是周期性的彈性形變。這些結(jié)論與理論相符,為SAW器件的設(shè)計(jì)和研究提供了仿真依據(jù)。
　　針對(duì)振蕩器中聲表面波器件存在的體聲波干擾、電極反射及旁瓣過大問題,提出

3、了一種新型聲表面波振蕩器系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。該方案將多條耦合器用于分離體聲波,分裂電極用于減弱電極反射問題,并采用了輸入、輸出換能器雙加權(quán)的措施來(lái)降低旁瓣信號(hào)。通過中心頻率為50.8MHz聲表面波器件的實(shí)現(xiàn)和測(cè)試結(jié)果,說(shuō)明了該設(shè)計(jì)方案在提高器件性能方面具有很好的作用。利用Agilent7032A示波器對(duì)使用該器件設(shè)計(jì)的聲表面波振蕩器進(jìn)行測(cè)量,得到該新型聲表面波振蕩器系統(tǒng)的振蕩頻率為50.1MHz,與系統(tǒng)的設(shè)計(jì)值誤差僅為1.3％,并且具有良好