聲表面波傳感器及其接口設計的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、聲表面波技術已被應用到電子通訊、無線遙感和傳感檢測領域，作為一種多功能傳感器以其靈敏度高、體積小、功耗低等優(yōu)點廣泛地應用于眾多物理量、化學量和生物量的靈敏檢測，聲表面波傳感檢測技術有著良好的應用前景。 本文從聲表面波的聲學原理入手，簡要介紹了聲表面波傳感器的傳感機理，及其制作的相關材料和工藝，重點從δ函數模型、等效電路模型和耦合模模型(COM)入手分析研究了聲表面波叉指換能器的建模仿真，聲表面波傳感器的界面擾動效應理論，在以上理

2、論研究的基礎上，設計制作了以36°-YXLiTaO3單晶為基底的52MHz和104MHz雙通道水平剪切聲表面波(SH-SAW)傳感器，詳細論述了聲表面波傳感器的高頻接口設計技術。最后，以Agilent4395A網絡分析儀為測試工具，通過實驗證明，本文設計的聲表面波傳感器及其接口電路的設計均達到了預期的效果。將聲表面波傳感器及其接口設計集成一體的設計方法在國內達到先進的水平，這種設計使得傳感器和接口電路工作性能穩(wěn)定良好。 這些工作

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