MEMS電磁驅(qū)動(dòng)器的理論分析與實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、與傳統(tǒng)的微驅(qū)動(dòng)器相比，微電磁驅(qū)動(dòng)器具有體積小、重量輕、加工工藝穩(wěn)定以及成本低等優(yōu)點(diǎn)。MEMS 微電磁驅(qū)動(dòng)器有著巨大的市場(chǎng)潛力和廣闊的應(yīng)用前景。 本文研究的電磁型微驅(qū)動(dòng)器主要由平面線圈、銅彈性平臺(tái)和中央硅墊片三部分組成。采用磁路定理分析了本文制作的平面線圈型電磁驅(qū)動(dòng)MEMS 微驅(qū)動(dòng)器，基于分段磁路的網(wǎng)絡(luò)方程法，針對(duì)微電磁驅(qū)動(dòng)器所采用的平面線圈的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，在傳統(tǒng)的集總磁動(dòng)勢(shì)模型基礎(chǔ)上，建立了動(dòng)態(tài)分布磁動(dòng)勢(shì)磁路模型；并綜合考慮氣隙變化

2、對(duì)電磁力的影響，對(duì)驅(qū)動(dòng)力的計(jì)算進(jìn)行了修正。 采用微細(xì)加工技術(shù)制作了這種微電磁驅(qū)動(dòng)器。主要采用聚酰亞胺絕緣層工藝制作了平面線圈，討論了聚酰亞胺的甩膠，熱處理及磨拋等工藝，完成了器件絕緣部分的制作。同時(shí)，本文采用微電鑄和濕法刻蝕工藝制作了銅彈性平臺(tái)，并通過在銅彈性平臺(tái)背面電鍍一層坡莫合金的方法來制成銜鐵，采用濕法刻蝕工藝制作了硅墊片，用來調(diào)整器件的工作氣隙。 利用測(cè)量顯微鏡等設(shè)備測(cè)量了微電磁驅(qū)動(dòng)器的輸出特性，并根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)