新型電熱微驅(qū)動器的研究.pdf

1、隨著電子產(chǎn)品的小型化和系統(tǒng)功能的集成化,微型驅(qū)動器獲得了巨大的市場潛力并擁有廣闊的應用前景。眾多微驅(qū)動器中,電熱微驅(qū)動器具有體積小、結(jié)構(gòu)相對簡單、加工工藝穩(wěn)定以及成本低等優(yōu)點,成為微型機械電子系統(tǒng)研究的熱門。本文研究了新型電熱微驅(qū)動器,其核心部件由懸臂梁、電路、基座組成。分別采用理論計算和軟件仿真,通過微細加工工藝制作了微驅(qū)動器,并進行了測試驗證。根據(jù)測試結(jié)果調(diào)整設(shè)計結(jié)構(gòu)、加工工藝,最終獲得高質(zhì)量的電熱驅(qū)動器。本文著重研究了懸空結(jié)構(gòu)加工

2、中的厚犧牲層技術(shù)、熱驅(qū)動懸臂梁的制作等工藝問題,并提出嘗試三態(tài)工作模式的磁鎖定繼電器,并對其結(jié)構(gòu)進行了進一步的估算。電熱微驅(qū)動器的加工工藝流程,主要采用SU-8和金屬鎳電鍍工藝制作了懸臂梁結(jié)構(gòu),詳細討論了SU-8的甩膠、熱處理及腐蝕浸泡等工藝,完成了這些關(guān)鍵部件的制作,該加工工藝具有工藝簡單,成本低的優(yōu)點。利用表面形貌輪廓儀、Veeco光學輪廓儀、結(jié)合力測試儀和掃描電鏡等設(shè)備測量了電熱微驅(qū)動器的形貌和輸出特性。根據(jù)實驗結(jié)果討論了加工的電