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文檔簡介
1、該論文主要利用動力學(xué)蒙特卡洛(KMC)模擬對超薄膜生長中的兩個(gè)問題進(jìn)行了詳細(xì)研究.第一個(gè)是團(tuán)簇?cái)U(kuò)散問題,主要涉及團(tuán)簇?cái)U(kuò)散的機(jī)制、團(tuán)簇尺寸與襯底溫度等因素對擴(kuò)散的影響等方面.第二個(gè)是考察在失配襯底上團(tuán)簇的成核與生長特性,主要涉及失配度、溫度、沉積速率等因素對成核過程、成核密度及其標(biāo)度分布的影響.此外還研究了各向異性失配襯底在團(tuán)簇生長的作用.該論文的研究結(jié)果表明:與單個(gè)增原子擴(kuò)散不同,團(tuán)簇?cái)U(kuò)散是非常復(fù)雜的過程,涉及到多種機(jī)制的共同作用,而襯
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