柔性基體上壓電薄膜的屈曲變形研究

1、廈門大學(xué)碩士學(xué)位論文柔性基體上壓電薄膜的屈曲變形研究姓名：付志鵬申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：固體力學(xué)指導(dǎo)教師：周志東2012A b s t r a c tA b s t 腿c tT h ep i e z o e l e c 仃i ct h i n 丘l I I l s o ne l a S t i cc o m p h n t 妯S t m t e sm a y b u c 妣，w h e nm e s d b s n 鉦e s r e l

2、 e a S em ep r e —s 晌o r m ef m 【1 s m e I I l S e l V e s a r c S u b j e c t e d t 0m e m b r a l l ef o r c e ．B a s e d o n 也i sc h a r a c t e r i s 6 c ，t 1 1 e 蚰r L l c t u r e s o fp i e z o e l e c 廿i c m i I l仙

3、m o ne l a S t i c s o f 【s u b s 仃a _ t e sc 鋤謝d e l yu s e di l l i r 此m g e n ts y S t e I l l S ，旬r e Ⅺm p l e ，n e ) 【i b l e e l e c t r i c s ，I l l i c r o —a I 】dm n 0 - e l e c 們一m e c h a n i c a ls y s t e r

4、I l Sa I l ds o m ea d Ⅵm c e dm e d i c a le n g i I l e e r i I l g 砒nt e c l l l l o l o g y ．S o ，i t i S o fi m p o r t a n ts 遠(yuǎn)血f l c a n c et D s t I - l d yt 1 1 eb u c №b e 豳i o r o f p i e z o e l e c 仃i c 恤l 甸

5、m so n e l a s t i c s o f ts u b s t r 撕s ．B a s e do nm eV a d a t i o n a lp 血c i p l e 幻也eg e I l e r a l 誣dp o t e 而a le n e 瑪弘m em e c h a m c —e l e c 仃i c c o u p l e d g o V e m m g e q u a t i o I l S a n d b o

6、 咖d a 巧 c o I 】d i t i o I l s f o rp i e z o e l e c 仃i cm i I l 丘l r I l a 1 1 d 血ep i e z o e l e c 仃i ct 1 1 i l l 丘l I l l ／e l a s 亂s o f I 砌) s 缸a t el a J T 血a t e ds 忙u c t u r e a r eo b t a m e d ．B yu s i l l

7、 gt l l ep e r t u r b a d o n 吐l e o 巧a r l de q u i H b r i 啪m e Ⅱl o d o f賊i cf o r c e s ，m el o c a lb u c k H n g 緬碑z o e l e c t r i c t t l i I l 缸l l I l s o n e I a S t i c s o f tS u b s 口疵sa r es t u d i e d

8、，a I dm e i I l n u e n c eo f p i e z o e l e c 仃i c i t y ，m i c k n e s s 枷o sb e t w e e n s I l b s 位a t e sa n d f i l l l l s ， e 1 2 L S t i c c o e 丘I c i e n t m t i o s b e t w e e n s u b s 仃a 鈀s a n d f ．山n

9、s ， b o u n d a 巧c o n d m 船b e 塒e e nS u b S t r a t e sa I l d s u p p o r t sa r ei n V e S t i g a t e d ．B yu s i I l gm er n j I l i I m le r 曲a l p y 此。吼m e c r i t i c a l s 仃a i l l f o r g l o b a l b u c k Ⅱn

10、g o f p i e z o e l e c t r i c n 血丘l l I l ／e 嫩i cS 0 as u b s t r a t el a I l l i ] n a t e ds t r u c t u r ei s o b t a i l l e d ；也ec o n V e r s i o nr e l a t i o n s h i pa n d 婦函6 c a l c o n d i t i o nb e 觚e

11、e nl o c a lb l l c m 培孤d 幽b a lb u c U 啦a r e S t u d i e d ．T h el a s t ，b y 璐i 1 1 9 m em i n i I l l a l e 劬a l p y Ⅱ1 e o Ⅸm e c d 石c a l s 位洳f o rd e t a c h e db u c k h go fp i e z o e k c 仃i c m i I l 丘l I I l

12、o ne l a S t i c s o f I s u b s 仃撕i S o b t a i l l e d ，a I l d 吐l en r I l i t e dV a l u ef o rp r e - S t 嘣h i s g i V e nt D p r e V e n tm e p i e z o e l e c 仃j cf i l I l l 丘D ms 吮n 舒hb r e a l ( i n g ．T h er e

13、 s u l t ss h o w e dm a t t 1 1 e p i e z o e l e c 仃i c i t y c a ni l l c r e a s e I i g i d i t y 甜ds t a b i l i t yo fm e 趼s t e l l l s ．T 妣l ( n e s sm 1 的sb e M e e ns u b s t r 疵s 卸[ 1 d f i h I l s ，e l a 妣c

14、o e m c i e mr a 6 0 s b e t w e e ns u b s 缸a t e s a n df i h l l s ，b o m l d a 巧c o n d i t i o n s b e t 、v e e n s u b s t r a t e s a r ds u p p o r t sp l a yi I n p o 砌n tr o l e si n 1 0 c a lb u c U i l l g o