“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”

1、1國(guó)家科技重大專項(xiàng)自查情況國(guó)家科技重大專項(xiàng)自查情況匯總分析報(bào)告匯總分析報(bào)告專項(xiàng)名稱：牽頭責(zé)任部門：報(bào)告編制時(shí)間：年月國(guó)家科技重大專項(xiàng)上海配套資金審核小組制年月日3國(guó)家科技重大專項(xiàng)自查情況國(guó)家科技重大專項(xiàng)自查情況匯總分析報(bào)告匯總分析報(bào)告（編寫大綱）一、實(shí)施基本情況說明本專項(xiàng)項(xiàng)目（課題）啟動(dòng)和任務(wù)實(shí)施情況，提供10項(xiàng)事業(yè)單位類事業(yè)單位類承擔(dān)承擔(dān)的重點(diǎn)檢查的項(xiàng)目（課題）清單（附表1）。二、目標(biāo)任務(wù)階段進(jìn)展情況說明本專項(xiàng)項(xiàng)目（課題）進(jìn)展情況，包

2、括主要目標(biāo)任務(wù)的完成情況、關(guān)鍵技術(shù)的突破情況、成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化的推進(jìn)情況，以及重要事項(xiàng)變更情況等。三、組織管理情況說明本專項(xiàng)組織管理情況，包括制度制定及落實(shí)情況、單位法人責(zé)任落實(shí)情況、人才隊(duì)伍建設(shè)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)管理情況、平臺(tái)基地建設(shè)等。四、專項(xiàng)組織推進(jìn)體制機(jī)制創(chuàng)新情況說明本專項(xiàng)在組織推進(jìn)方面的創(chuàng)新做法，包括協(xié)同推進(jìn)、政產(chǎn)學(xué)研用、國(guó)際合作等情況。五、主要產(chǎn)出和實(shí)施成效說明通過本專項(xiàng)的實(shí)施產(chǎn)生的主要成果和成效，包括專項(xiàng)實(shí)施建立的重大標(biāo)志性成果及