電子陀螺儀原理與構(gòu)造

1、1HighlyIntegratedNanotechnologyMEMSMEMS陀螺儀傳感器產(chǎn)業(yè)探究陀螺儀傳感器產(chǎn)業(yè)探究目錄：目錄：一、一、MEMSMEMS陀螺儀市場(chǎng)現(xiàn)狀陀螺儀市場(chǎng)現(xiàn)狀...........................................................................................2第一節(jié)、第一節(jié)、MEMSMEMS主要廠家產(chǎn)品資料匯總主要廠家產(chǎn)品資料匯總.

2、...............................................................2第二節(jié)、第二節(jié)、MEMSMEMS在我國(guó)的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀在我國(guó)的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀........................................................................2二、二、MEMSMEMS陀螺儀介紹陀螺儀介紹.............................

3、......................................................................3第一節(jié)、什么是微機(jī)械（第一節(jié)、什么是微機(jī)械（MEMSMEMS）？）？.....................................................................3第二節(jié)、微機(jī)械陀螺儀（第二節(jié)、微機(jī)械陀螺儀（MEMSMEMSgyroscopegyrosc

4、ope）的工作原理）的工作原理.................................3第三節(jié)、微機(jī)械陀螺儀的結(jié)構(gòu)第三節(jié)、微機(jī)械陀螺儀的結(jié)構(gòu).............................................................................4三、三、MEMSMEMS技術(shù)的加工工藝技術(shù)的加工工藝.........................................

5、..................................................6第一節(jié)、體加工工第一節(jié)、體加工工藝.............................................................................................6第二節(jié)、硅表面微機(jī)械加工技術(shù)第二節(jié)、硅表面微機(jī)械加工技術(shù)..............................

6、...........................................7第三節(jié)、結(jié)合技術(shù)第三節(jié)、結(jié)合技術(shù).................................................................................................7第四節(jié)、逐次加工第四節(jié)、逐次加工..............................................

7、...................................................8第五節(jié)、第五節(jié)、LIGALIGA工藝工藝................................................................................................8第六節(jié)、第六節(jié)、THEMLATHEMLA工藝流程工藝流程.......................

8、.............................................................9四、基于四、基于DSPDSP的MEMSMEMS陀螺儀信號(hào)處理平臺(tái)設(shè)計(jì)陀螺儀信號(hào)處理平臺(tái)設(shè)計(jì)......................................................9第一節(jié)、第一節(jié)、MEMSMEMS陀螺儀信號(hào)處理平臺(tái)的硬件結(jié)構(gòu)陀螺儀信號(hào)處理平臺(tái)的硬件結(jié)構(gòu)..............

9、..................................9第二節(jié)、第二節(jié)、MEMSMEMS陀螺儀信號(hào)處理平臺(tái)系統(tǒng)任務(wù)分析陀螺儀信號(hào)處理平臺(tái)系統(tǒng)任務(wù)分析..........................................10第三節(jié)、第三節(jié)、MEMSMEMS信號(hào)處理平臺(tái)軟件設(shè)計(jì)方案信號(hào)處理平臺(tái)軟件設(shè)計(jì)方案......................................................1

10、1五、基于五、基于GPSGPS的汽車導(dǎo)航系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)的汽車導(dǎo)航系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)..........................................................12第一節(jié)、主體控制方案第一節(jié)、主體控制方案.......................................................................................12第二節(jié)、第二節(jié)、GP

11、SGPS定位系統(tǒng)設(shè)計(jì)定位系統(tǒng)設(shè)計(jì)................................................................................13第三節(jié)、車體部分第三節(jié)、車體部分MCUMCU主控模塊設(shè)計(jì)主控模塊設(shè)計(jì)..............................................................14第四節(jié)、系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)第四節(jié)、系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)....

12、...................................................................................143HighlyIntegratedNanotechnology年生產(chǎn)能力達(dá)到幾千萬只甚至幾億只。相比之下，中國(guó)傳感器的應(yīng)用范圍較窄，更多的應(yīng)用仍然停留在工業(yè)測(cè)量與控制等基礎(chǔ)應(yīng)用領(lǐng)域。深迪半導(dǎo)體，發(fā)布了旗下第一款陀螺儀產(chǎn)品SSZ030CG，這標(biāo)志著第一款具有中國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)

13、權(quán)的商用MEMS陀螺儀誕生。二、二、MEMSMEMS陀螺儀介紹陀螺儀介紹第一節(jié)、什么是微機(jī)械（第一節(jié)、什么是微機(jī)械（MEMSMEMS）？）？微機(jī)械MEMS是英文MicroElectroMechanicalsystems的縮寫，即微電子機(jī)械系統(tǒng)。微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是建立在微米納米技術(shù)（micronanotechnology）基礎(chǔ)上的21世紀(jì)前沿技術(shù)，是指對(duì)微米納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測(cè)量和控制的技術(shù)。它可將機(jī)械構(gòu)件、光學(xué)

14、系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)部件、電控系統(tǒng)集成為一個(gè)整體單元的微型系統(tǒng)。這種微電子機(jī)械系統(tǒng)不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據(jù)外部的指令采取行動(dòng)。它用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)(包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術(shù))相結(jié)合的制造工藝，制造出各種性能優(yōu)異、價(jià)格低廉、微型化的傳感器、執(zhí)行器、驅(qū)動(dòng)器和微系統(tǒng)。微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）是近年來發(fā)展起來的一種新型多學(xué)科交叉的技術(shù)，該技術(shù)將對(duì)未來人類生活產(chǎn)生革命性的影

15、響。它涉及機(jī)械、電子、化學(xué)、物理、光學(xué)、生物、材料等多學(xué)科。第二節(jié)、微機(jī)械陀螺儀（第二節(jié)、微機(jī)械陀螺儀（MEMSMEMSgyroscopegyroscope）的工作原理）的工作原理傳統(tǒng)的陀螺儀主要是利用角動(dòng)量守恒原理，因此它主要是一個(gè)不停轉(zhuǎn)動(dòng)的物體，它的轉(zhuǎn)軸指向不隨承載它的支架的旋轉(zhuǎn)而變化。但是微機(jī)械陀螺儀的工作原理不是這樣的，因?yàn)橐梦C(jī)械技術(shù)在硅片襯底上加工出一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)可不是一件容易的事。微機(jī)械陀螺儀利用科里奧利力——旋轉(zhuǎn)物體