四探針法測量面電阻2003

1、利用直流四探針法測量半導(dǎo)體的電阻率利用直流四探針法測量半導(dǎo)體的電阻率一測試原理:當(dāng)四根金屬探針排成一條直線并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時在14兩根探針間通過電流I則23探針間產(chǎn)生電位差V(如圖所示).根據(jù)公式可計算出材料的電阻率:其中C為四探針的探針系數(shù)(cm)它的大小取決于四根探針的排列方法和針距.二儀器操作:(一)測試前的準(zhǔn)備:1將電源插頭插入儀器背面的電源插座電源開關(guān)置于斷開位置2工作方式開關(guān)置于“短路“位置電流開關(guān)處于彈出位置3

2、將手動測試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好4對測試樣品進(jìn)行一定的處理(如噴沙清潔等)5調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度及濕度使之達(dá)到測試要求.(二)測試:首先將電源開關(guān)置于開啟位置測量選擇開關(guān)置于“短路“出現(xiàn)數(shù)字顯示通電預(yù)熱半小時.1放好樣品壓下探頭將測量選擇開關(guān)置于“測量“位置極性開關(guān)置于開關(guān)上方2選擇適當(dāng)?shù)碾妷毫砍毯碗娏髁砍虜?shù)字顯示基本為“0000“若末位有數(shù)字可旋轉(zhuǎn)1.在測容性負(fù)載阻值時，絕緣輸出短路電流大小與測量數(shù)據(jù)有什么關(guān)系，為什么絕緣輸出

3、短路電流的大小可反映出該兆歐表內(nèi)部輸出高壓源內(nèi)阻的大小。當(dāng)被測試品存在電容量時，在測試過程的開始階段，絕緣內(nèi)的高壓源要通過其內(nèi)阻向該電容充電，并逐步將電壓充到絕緣的輸出額定高壓值。顯然，如果試品的電容量值很大，或高壓源內(nèi)阻很大，這一充電過程的耗時就會加長。其長度可由R內(nèi)和C負(fù)載的乘積決定（單位為秒）。請注意，給電容充電的電流與被測試品絕緣電阻上流過的電流，在測試中是一起流入絕緣內(nèi)的。絕緣測得的電流不僅有絕緣電阻上的分量，也加入了電容充電

4、電流分量，這時測得的阻值將偏小。如：額定電壓為5000V的絕緣，若其短路輸出電流為80μA(日本共立產(chǎn))，其內(nèi)阻為5000V80μA＝62MΩ如：試品容量為0.15μF，則時間常數(shù)τ=62MΩ0.15μF≈9(秒)即在18秒時刻，電容上的充電電流仍有11.3μA。由此可見，僅由充電電流而形成的等效電阻為5000V11.3μA＝442MΩ若正常絕緣為1000MΩ，則顯示的測得絕緣值僅為306MΩ。這種試值已不能反映絕緣值的真實狀況了，而且