2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、1022187棋里大學(xué)碩士學(xué)位論文(專業(yè)學(xué)位)18微米超淺結(jié)構(gòu)造工藝研究院系:信息科學(xué)與工程學(xué)院專業(yè):姓名:指導(dǎo)教師:完成日期:電子與通信工程施鍇周嘉副教授2006年10月20日學(xué)校代碼學(xué)號(hào)10246033021102摘要對(duì)于O18唧及O18岬以下的器件而言最大的挑戰(zhàn)之一就是如何減少短溝道效應(yīng),解決這一挑戰(zhàn)的方法是使用超淺結(jié)工藝。本論文研究利用現(xiàn)有O25岬工藝流程和現(xiàn)有設(shè)備實(shí)現(xiàn)018岬超淺結(jié)的工藝方案。使用美國(guó)斯坦福大學(xué)的工藝模擬軟件S

2、upreⅢ4模擬工藝條件,根據(jù)模擬結(jié)果對(duì)離子注入的能量和劑量,快速熱退火的溫度和時(shí)間,注入和退火前硅片表面條件作研究。通過對(duì)工藝條件對(duì)結(jié)深和方塊電阻影響的研究,得到了可行的工藝方案,即低注入能量(5kev),高注入劑量(350E15atoms/cm2)的離子注入條件;退火前350A魄氧化層,高溫度(1050℃)短時(shí)間(10S)的快速熱退火條件。關(guān)鍵詞:超淺結(jié),離子注入,快速熱退火,結(jié)深,方塊電阻AbstractUl仃ashallowju

3、nctiontechn0109yist11es01塒ontoreduceshortchaIlnele彘ct(SCE),wllichisoneof恤ebiggestchallenges婦’subO18岬de、,icesTllisp印ers協(xié)diesmeprocessrecipeforul缸shall娟,junctionofO18阻deVices,realizedbypresentprocessequipmentsbasedon025岬pr

4、ocessnowAftersimlllationbycommercialsofhareSupnne4,processpar鋤eters,suchas,ioniIIlplant抽gene瑪yanddosage,tempera嘶強(qiáng)d血einrapidme吼alprocess(RTP)趾dwa衙surfaceconditionbeforeimpl姐tationarcstIldied111ee位ctsofmoseprocessconditiQn

5、sonjunctiond印mandwafersheetresistance盯edemons廿atedandanalyzed111eavailableprocesscondidonsforu1艦shallowjunctionofO,18mdevicesareobtainedasconclusions:10wimplaIltenergy(5kev),hi曲implantingdosage(35E15atoms/冊(cè)2),350Amick0xi

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