介觀壓阻型硅鍺加速度計的仿真與設(shè)計.pdf

1、本文研究了基于Si1-xGex/Si超晶格半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu)的“介觀壓阻效應(yīng)”的壓阻式加速度傳感器。在“介觀壓阻效應(yīng)”理論的基礎(chǔ)上，設(shè)計了Si1-xGex/Si/Si1-xGex雙勢壘共振隧穿納米薄膜結(jié)構(gòu)；運用MATLAB軟件對不同尺寸的加速度計結(jié)構(gòu)進行了仿真與設(shè)計；并采用ANSYS有限元分析軟件對設(shè)計出的加速度計結(jié)構(gòu)進行了仿真。 本文設(shè)計了雙懸臂梁結(jié)構(gòu)的微加速度計，運用有限元軟件ANSYS對該加速度傳感器結(jié)構(gòu)進行了靜態(tài)仿真、模態(tài)仿

2、真和諧響應(yīng)分析。分析了不同參數(shù)對加速度計的影響。并對結(jié)構(gòu)進行了優(yōu)化設(shè)計，以滿足對器件穩(wěn)定性和量程的要求。最后通過選擇合適的參數(shù)，設(shè)計出了量程是1g的敏感結(jié)構(gòu)。 本文還對共振隧穿異質(zhì)結(jié)和加速度計進行了靜態(tài)特性仿真。得出了基于Si1-xGex/Si/Si1-xGex量子阱薄膜結(jié)構(gòu)的最大靜態(tài)壓阻靈敏度比基于硅的靜態(tài)壓阻靈敏度提高一個數(shù)量級的結(jié)論，而且加速度計結(jié)構(gòu)靈敏度比采用硅薄膜時要高的多。 本文研究創(chuàng)新點主要體現(xiàn)在：突破了傳