∑-△微加速度計系統(tǒng)研究.pdf

1、本文介紹了電容式微加速度計的基本原理，指出了閉環(huán)控制方式的優(yōu)點，結(jié)合∑-△調(diào)制技術(shù)，設(shè)計了一種閉環(huán)控制模式的電容式微加速度計——∑-△微加速度計的系統(tǒng)模型。 在MATLAB SIMULINK環(huán)境下創(chuàng)建了∑-△微加速度計的仿真模型。對仿真模型的輸出信號做了頻譜分析。設(shè)計了仿真模型輸出的數(shù)字信號處理模塊，并通過編程使其得以實現(xiàn)。運用數(shù)字信號處理模塊將仿真模型的PWM輸出信號解調(diào)并還原了輸入波形。改變輸入信號幅度、反饋增益系數(shù)、放大器

2、增益、比較器增益等參數(shù)以及相位補償器的位置進(jìn)行了仿真。采用正弦最小誤差法對還原后的波形進(jìn)行了分析。 建立了∑-△微加速度計中靜電力反饋作用下機械結(jié)構(gòu)的等效電學(xué)模型。綜合權(quán)衡相位補償器在電路中不同位置的優(yōu)劣點，建立了相位補償器置于反饋通道的全系統(tǒng)的PSPICE仿真模型。仿真結(jié)果表明，信噪比可以達(dá)到75diB。對系統(tǒng)的噪聲進(jìn)行了分析，提出了改善系統(tǒng)性能的方法。 建立了PSPICE中可在用戶屬性面板中設(shè)置器件尺寸、支持圖形輸