氮化鈦薄膜的磁控濺射研究.pdf

1、TiN薄膜具有耐磨、高硬度等特點(diǎn)，十分適合做刀具、軸承涂覆膜層。它不但能提高工具的耐磨性，還能延長(zhǎng)工具壽命3～5倍。TiN薄膜呈獨(dú)特的金黃色，是用于裝飾材料的理想仿金膜層。在薄膜的氣相沉積過程中，低溫沉積是薄膜技術(shù)的前沿問題，長(zhǎng)期以來，低溫沉積一直是真空鍍膜的目標(biāo)之一。 本文通過控制沉積時(shí)間、工作總壓、氮?dú)夥謮?、基底溫度、襯底偏壓等參數(shù)，總結(jié)出各個(gè)參數(shù)控制條件下TiN薄膜微觀結(jié)構(gòu)、形貌、成分、生長(zhǎng)取向的規(guī)律變化；同時(shí)總結(jié)了各工藝

2、參數(shù)控制條件下TiN薄膜的顯微硬度等性能及TiN薄膜微觀結(jié)構(gòu)和各種性能之間的密切聯(lián)系。為制備高性能TiN薄膜提供了依據(jù)。 本文為了對(duì)TiN薄膜微觀結(jié)構(gòu)、生長(zhǎng)取向及性能的影響進(jìn)行較為深入的聯(lián)系和分析，選擇了對(duì)TiN薄膜結(jié)構(gòu)、形貌和性能影響最大的氮?dú)夥謮?、基底溫度和襯底偏壓這3個(gè)因素進(jìn)行分析，并獲得了一些相關(guān)規(guī)律。 本文同時(shí)研究了薄膜表面能S<,hkl>和應(yīng)變能U<,hkl>對(duì)TiN薄膜生長(zhǎng)取向的控制影響。當(dāng)薄膜膜厚較小時(shí)，