多晶硅納米膜壓力傳感器溫度補(bǔ)償技術(shù)研究.pdf

1、多晶硅納米膜是一種具有良好壓阻特性的納米材料，基于多晶硅納米膜的壓力傳感器具有靈敏度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、精度高、穩(wěn)定性好、易于小型化和批量生產(chǎn)等諸多優(yōu)點(diǎn)。雖然納米膜的溫度特性比普通多晶硅薄膜優(yōu)越，但溫度還是會(huì)對(duì)此種傳感器的靈敏度及穩(wěn)定性產(chǎn)生一定影響，因此，溫度補(bǔ)償成為多晶硅納米膜壓力傳感器研究和生產(chǎn)中的一個(gè)亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。本課題在分析多晶硅納米膜壓力傳感器溫度漂移原因的基礎(chǔ)上，對(duì)傳感器信號(hào)檢測(cè)方法和溫度補(bǔ)償算法進(jìn)行研究，并對(duì)溫度補(bǔ)償系統(tǒng)

2、進(jìn)行了設(shè)計(jì)、制作與實(shí)際測(cè)試。
　　為檢測(cè)傳感器信號(hào)，在對(duì)傳感器信號(hào)測(cè)量原理分析的基礎(chǔ)上，對(duì)傳感器激勵(lì)電路、信號(hào)放大電路進(jìn)行設(shè)計(jì)，并采用濾波電路和電路抗干擾措施來(lái)消除外部電磁干擾。為優(yōu)化溫度補(bǔ)償算法，根據(jù)壓力傳感器標(biāo)定得到的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，利用MATLAB對(duì)二元回歸法和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)法的補(bǔ)償效果進(jìn)行仿真，比較二者優(yōu)缺點(diǎn)之后，確定神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)法作為溫度補(bǔ)償算法。在驅(qū)動(dòng)程序設(shè)計(jì)方面，在分析數(shù)字化造成的量化誤差的基礎(chǔ)上，基于過(guò)采樣原理確定系統(tǒng)采樣頻率，并