MEMS壓阻式壓力傳感器技術(shù)研究.pdf

1、傳感器是一種以測(cè)量為目的而被使用并且根據(jù)某些規(guī)則被轉(zhuǎn)換成可用的輸出信號(hào)的裝置或設(shè)備。它通常由轉(zhuǎn)換元件和敏感元件組成，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和自動(dòng)檢測(cè)。MEMS傳感器的研究始于20世紀(jì)60年代，能夠代表該技術(shù)開(kāi)端的首個(gè)硅隔膜壓力傳感器和應(yīng)變計(jì)分別來(lái)自于霍尼韋爾研究中心和貝爾實(shí)驗(yàn)室。
　　壓力傳感器是MEMS傳感器中影響最為深遠(yuǎn)的一類，其性能由測(cè)量范圍、測(cè)量精度、非線性度、重復(fù)性和工作溫度等決定。隨著自動(dòng)化生產(chǎn)程度的不斷提高，對(duì)傳感器的要求也在

2、不斷提高，必須研制出具有靈敏度高、精確度高、響應(yīng)速度快、互換性好的新型傳感器以確保生產(chǎn)自動(dòng)化的可靠性。為確保工業(yè)生產(chǎn)自動(dòng)化的可靠性和穩(wěn)定性，具有高靈敏度、高精確度、快速響應(yīng)、良好互換性的新型傳感器是今后市場(chǎng)的主要需求。
　　當(dāng)今采用MEMS技術(shù)制造的壓力傳感器，其線性度、靈敏度較之前有了很大提高，考慮到IC制造工藝及元器件的溫度特性等因素，壓力傳感器的零點(diǎn)誤差，溫度漂移缺點(diǎn)和靈敏度誤差等問(wèn)題依然存在，所有就需要借助后續(xù)信號(hào)補(bǔ)償技術(shù)