基于MEMS的壓力傳感器研制.pdf

1、機(jī)油壓力是發(fā)動(dòng)機(jī)正常工作的一個(gè)重要參數(shù),一般采用機(jī)油壓力傳感器進(jìn)行檢測。本文結(jié)合企業(yè)的需求,利用具有靈敏度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、精度高、體積小、價(jià)格便宜等優(yōu)點(diǎn)的MEMS芯片研制MEMS壓力傳感器,用于測量柴油發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油潤滑系統(tǒng)壓力,替代機(jī)械式壓力傳感器,驅(qū)動(dòng)動(dòng)圈式指針壓力表顯示壓力值,當(dāng)機(jī)油壓力不足時(shí),點(diǎn)亮壓力報(bào)警燈。
　　本文首先深入分析了國內(nèi)外MEMS技術(shù)研宄現(xiàn)狀,依據(jù)機(jī)油壓力傳感器的技術(shù)參數(shù)及指標(biāo),確定了機(jī)油壓力傳感器的整體設(shè)計(jì)方

2、案,并對(duì)傳感器的主要電路部分進(jìn)行詳細(xì)設(shè)計(jì)。針對(duì)MEMS芯片的零點(diǎn)漂移和溫度漂移特性,深入分析了漂移的產(chǎn)生原因以及常見的補(bǔ)償方式的特點(diǎn),提出了相應(yīng)的方案,進(jìn)而對(duì)軟件標(biāo)定和溫度補(bǔ)償進(jìn)行詳細(xì)設(shè)計(jì)。最后論文搭建了傳感器樣機(jī)的測試臺(tái)架,開展多項(xiàng)傳感器性能測試,并對(duì)試驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和統(tǒng)計(jì)。試驗(yàn)結(jié)果表明:研制的傳感器能夠達(dá)到所需的參數(shù)指標(biāo),其簡單易行的標(biāo)定和補(bǔ)償算法是一種有效的標(biāo)定補(bǔ)償方法,能滿足大批量生產(chǎn)的需求,對(duì)產(chǎn)品的系列化和類似產(chǎn)品的設(shè)計(jì)制造也