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1、西安電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文納米CMOS器件的量子化效應(yīng)研究姓名:王瑾申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:劉紅俠20080101Abstract一_。———————————————————————————————————————————————————————一AbstractWiththedevelopmentofICprocess,thechannellengthofCMOSdevicesisscalingdown
2、,allkindsofsmallsizeeffectsincludingsmallchanneleffect(SCE)andquantizationeffect(QE)havemoleandmoreseriouseffectsondeviceperformanceandreliabilityFacingtheexistingofSCEandQEinnanometerCMOSdevices,relevantresearchesarecar
3、riedoninthethesisFirstlv,thecauseofSCEanditsinfluenceonnanometerCMOSdevicesareanalyzedThestudyresultsindicatethatSCEinducethethresholdvoltagedecrease,subthresholdswingincrease,anditiseasytomakedevicefailureInordertestrai
4、ntheinfluenCeofSCE,twomethods,doingnon—uniformchanneldopingandlookingfornewdevicestructures,aresummarizedThetheoryanalysisanddatacomparisonshowthatthesemethodsareobviousinsuppressingSCESecondlytheinfluencesofQEontheperfo
5、rmanceofnanometerCMOSdevicesarepresentedbythetheoryanalysisandformuladerivation,thesemainparametersincludethresholdvoltage,carriertransport,gateoxidetunnelingcurrent,gatedielectriccapacitanceandmobilityTheinfluenceofQEon
6、thresholdvoltageisdiscussedindetailsBvthequantizationmodificationtoatraditionalthresholdvoltagemodel,thethresholdvoltagemodelwhichtakesintoaccount2DQEisgottenBycomparingitwithexperimentalmeasurements,theresultsrevealthat
7、themodifiedmodelfitstheexperimentalresultverywellSubsequentlytheSCEandQEcouplingeffectsandindependentSCEeffectsonthresholdvoltageofnanometerCMOSdevicesarepresented,itisfoundthatQEmakesthereducingrateofthresholdvoltageind
8、ucedbySCEdelayandwiththeincreasingconcentrationofsubstratedoping,QEplaysamoreandmoreimportantrolegraduallyFinallythreesolidquantumelectronicdeviceswhichmaybehavebroadapplicationsarepresentedbrieflyKeyword:nanometerscaleC
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