版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、新型SiGe/Si異質(zhì)結(jié)材料作為新型晶片材料,由于在工藝上可以與Si工藝兼容,且成本低于化合物半導(dǎo)體器件,目前得到迅速發(fā)展,已達(dá)到了可與AsGa技術(shù)相抗衡的地步。SiGe HBT不僅在高頻方面具有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn),同時(shí),在低溫高增益方面也具有得天獨(dú)厚的條件,成功地解決了高頻、大功率、低溫、高增益等一系列在硅及砷化鎵材料中無法解決的問題。
當(dāng)下,對(duì)于SiGe HBT改善的研究方法主要分為兩大類:一是改變Ge組分分布以調(diào)制其能帶結(jié)構(gòu)
2、,但由于晶格失配等原因,Ge的組分改變受到限制,一般不高于25%;二是通過改變HBT結(jié)構(gòu)如改變基區(qū)厚度等來改進(jìn)HBT性能。本論文設(shè)計(jì)了一種臺(tái)面式結(jié)構(gòu)的HBT并對(duì)其基本電學(xué)性質(zhì)做了參數(shù)提取。
本論文包括四部分,第一部分主要介紹SiGe HBT的發(fā)展歷史和應(yīng)用前景;
第二部分主要介紹為SiGe HBT制備的要點(diǎn)、常用結(jié)構(gòu)以及現(xiàn)在比較成熟的制備工藝:
第三章為實(shí)驗(yàn)部分,主要介紹了利用固態(tài)源MBE法設(shè)計(jì)
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- SiGe HBT及其單片集成電路的研究.pdf
- SiGe HBT基于物理的Scalable模型及InP HBT模型研究.pdf
- 基于SiGe HBT的高頻增益模塊.pdf
- SiGe HBT的制作與測(cè)試分析.pdf
- 新結(jié)構(gòu)微波功率SiGe HBT的仿真研究.pdf
- CMOS及SiGe HBT LNA研究設(shè)計(jì).pdf
- SiGe HBT高頻噪聲精確建模方法的研究.pdf
- 微波功率SiGe HBT與基于虛襯底的SiGe HPT的研制.pdf
- SiGe HBT器件建模和仿真.pdf
- 基于SiGe BiCMOS技術(shù)的HBT設(shè)計(jì)及工藝研究.pdf
- SiGe HBT建模及模擬技術(shù)研究.pdf
- SOI SiGe HBT結(jié)構(gòu)與集電區(qū)模型研究.pdf
- SiGe HBT低噪聲放大器的研究.pdf
- SiGe HBT小信號(hào)建模技術(shù)研究.pdf
- SiGe HBT高頻噪聲建模技術(shù)研究.pdf
- SiGe異質(zhì)結(jié)雙極晶體管(SiGe HBT)研究與設(shè)計(jì).pdf
- 高頻SiGe HBT低噪聲放大器的研究.pdf
- 基于集成電路工藝的SiGe HBT器件的噪聲特性研究.pdf
- 功率SiGe HBT的有限元熱分析與新結(jié)構(gòu)研究.pdf
- 20GHz SiGe HBT器件設(shè)計(jì)與工藝研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論