2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、新型SiGe/Si異質(zhì)結(jié)材料作為新型晶片材料,由于在工藝上可以與Si工藝兼容,且成本低于化合物半導(dǎo)體器件,目前得到迅速發(fā)展,已達(dá)到了可與AsGa技術(shù)相抗衡的地步。SiGe HBT不僅在高頻方面具有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn),同時(shí),在低溫高增益方面也具有得天獨(dú)厚的條件,成功地解決了高頻、大功率、低溫、高增益等一系列在硅及砷化鎵材料中無法解決的問題。
   當(dāng)下,對(duì)于SiGe HBT改善的研究方法主要分為兩大類:一是改變Ge組分分布以調(diào)制其能帶結(jié)構(gòu)

2、,但由于晶格失配等原因,Ge的組分改變受到限制,一般不高于25%;二是通過改變HBT結(jié)構(gòu)如改變基區(qū)厚度等來改進(jìn)HBT性能。本論文設(shè)計(jì)了一種臺(tái)面式結(jié)構(gòu)的HBT并對(duì)其基本電學(xué)性質(zhì)做了參數(shù)提取。
   本論文包括四部分,第一部分主要介紹SiGe HBT的發(fā)展歷史和應(yīng)用前景;
   第二部分主要介紹為SiGe HBT制備的要點(diǎn)、常用結(jié)構(gòu)以及現(xiàn)在比較成熟的制備工藝:
   第三章為實(shí)驗(yàn)部分,主要介紹了利用固態(tài)源MBE法設(shè)計(jì)

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