Zn-W基靶材制備及其特性研究.pdf

1、ZnO透明導電氧化物薄膜是重要的前電極和背反射電極材料，它能夠有效改善硅基薄膜太陽能電池的特性。要獲得高質(zhì)量的ZnO薄膜，必須要有優(yōu)質(zhì)的ZnO靶材。
　　本文以ZnO粉末和WO3粉末為主要原料，采用常壓燒結(jié)技術制備Zn-W基陶瓷靶材。首先，通過研究燒結(jié)溫度和燒結(jié)速率對靶材特性的影響，擬定靶材的最佳燒結(jié)曲線；其次，系統(tǒng)地研究燒結(jié)氣氛、摻雜濃度、單一摻雜和共摻雜等因素對靶材的相對致密度、微觀結(jié)構和電學特性的影響；最后，選用自制的W-T

2、i共摻ZnO靶材，借助電子束反應熱蒸發(fā)技術制備了WTZO（ZnO:WO3:TiO2）透明導電氧化物薄膜，研究了退火處理對WTZO薄膜微觀結(jié)構以及光電特性的影響。研究結(jié)果表明：
　?。?）最高燒結(jié)溫度為1200℃時，靶材的相對致密度較高，電學特性較好；（2）燒結(jié)速率為10℃/min時，燒結(jié)比較充分而且靶材內(nèi)部生成的ZnWO4和Zn2TiO4尖晶石比較少；（3）燒結(jié)氣氛為高純氬氣時，系統(tǒng)內(nèi)氧分壓降低，氧空位和金屬空位增多，WTZO靶材